NS系列探針式臺(tái)階儀通過(guò)2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,，結(jié)合亞埃級(jí)分辨率（5 ?）與智能化分析軟件,，可精準(zhǔn)測(cè)量臺(tái)階高度（納米至1050μm）、表面粗糙度（Ra,、Rz等參數(shù)）,、膜層厚度及應(yīng)力分布，為材料研發(fā),、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持,。應(yīng)用場(chǎng)景適應(yīng)性強(qiáng)，其對(duì)被測(cè)樣品的反射率特性,、材料種類(lèi)及硬度等均無(wú)特殊要求,，可測(cè)量沉積薄膜的臺(tái)階高度、抗蝕劑（軟膜材料）的臺(tái)階高度等,。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測(cè)量功能

1）臺(tái)階高度：能夠測(cè)量納米到330μm或1050μm的臺(tái)階高度,，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射,、SIMS,、沉積、旋涂,、CMP等工藝期間沉積或去除的材料,。

2）粗糙度與波紋度：能夠測(cè)量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過(guò)計(jì)算掃描出的微觀(guān)輪廓曲線(xiàn),，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS,、Rv,、Rp、Rz等數(shù)十項(xiàng)參數(shù),。

3）應(yīng)力測(cè)量：可測(cè)量多種材料的表面應(yīng)力,。

2.測(cè)量模式與分析功能

1）單區(qū)域測(cè)量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖設(shè)置掃描起點(diǎn)和掃描長(zhǎng)度,，即可開(kāi)始測(cè)量。

2）多區(qū)域測(cè)量模式：完成Focus后,，根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置,，可根據(jù)橫向和縱向距離來(lái)陣列形成若干到數(shù)十?dāng)?shù)百項(xiàng)掃描路徑所構(gòu)成的多區(qū)域測(cè)量模式，一鍵即可完成所有掃描路徑的自動(dòng)測(cè)量,。

3）3D測(cè)量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置,，并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域?qū)挾然驋呙杈€(xiàn)條的間距與數(shù)量完成整個(gè)掃描面區(qū)域的設(shè)置，一鍵即可自動(dòng)完成整個(gè)掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建,。

4）SPC統(tǒng)計(jì)分析：支持對(duì)不同種類(lèi)被測(cè)件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析,，針對(duì)批量樣品的測(cè)量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的變化趨勢(shì)。

3.雙導(dǎo)航光學(xué)影像功能

在NS200-D型號(hào)中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機(jī),，在正視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可精確設(shè)置掃描路徑,，在斜視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可實(shí)時(shí)跟進(jìn)掃描軌跡。

4.快速換針功能

NS系列探針式臺(tái)階儀采用了磁吸式測(cè)針,，當(dāng)需要執(zhí)行換針操作時(shí),，可現(xiàn)場(chǎng)快速更換掃描測(cè)針，并根據(jù)軟件中的標(biāo)定模塊進(jìn)行快速標(biāo)定,，確保換針后的精度和重復(fù)性,，減少維護(hù)煩惱。

磁吸針實(shí)物外觀(guān)圖（330μm量程）

行業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造：沉積/蝕刻薄膜厚度測(cè)量,、CMP工藝表面平整度檢測(cè),、抗蝕劑臺(tái)階高度分析。

光伏與顯示面板：太陽(yáng)能涂層膜厚,、AMOLED屏微結(jié)構(gòu),、觸控面板銅跡線(xiàn)測(cè)量。

MEMS與微納材料：微型傳感器形貌表征,、柔性電子器件薄膜厚度檢測(cè),。

科研與高校：材料表面應(yīng)力分析、微加工工藝研發(fā)數(shù)據(jù)支撐,。

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對(duì)濕度：濕度 （無(wú)凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)

地面振動(dòng)：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動(dòng)）