臺階儀通過掃描被測樣品表面,，獲取高分辨率的表面形貌數據,，能夠揭示微觀結構的特征和性能,。

了解工作原理和性能特點

臺階儀利用掃描探針在樣品表面上進行微觀測量,，通過探測探針和樣品表面之間的相互作用力，獲取表面形貌信息,。具體而言,，掃描探針通過細微的力變化，測量樣品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差,。然后通過數據處理,，形成高分辨率的圖像。

它能夠實現納米級別的測量,，對微觀結構的細節(jié)進行觀測和分析,，揭示出表面的微觀特征；還具備高速掃描的能力,，實現快速獲取樣品的形貌數據,。

功能和作用介紹

作為一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，臺階儀可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度,、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量,。測量參數：

（1）臺階高度：能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,；

（2）粗糙度與波紋度：可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra,、RMS、Rv,、Rp,、Rz等20余項參數；

（3）翹曲與形狀：能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,。

臺階儀的應用

臺階儀具有廣泛的適用范圍,，在科學研究、材料表征,、納米技術,、半導體制造等領域都有應用。如在半導體制造中,，臺階儀可以用于檢測半導體材料表面的缺陷和形貌,，為半導體器件的開發(fā)和生產提供可靠的數據參考。

測量晶圓表面粗糙度

臺階儀具備出色的精確性和穩(wěn)定性,，而且樣品適應面廣,，對測量工件的表面反光特性、材料種類,、材料硬度都沒有特別要求,。在材料科學、制造業(yè),、科研等領域都有著重要的應用價值,。相信隨著科技的不斷發(fā)展，臺階儀將會在測量領域發(fā)揮更加重要的作用,。

臺階儀優(yōu)勢總結

1,、高精度的測量能力

臺階儀在微觀表面形貌的測量中非常準確，能夠滿足高精度測量的需求,。CP系列臺階儀具有亞埃級分辨率,，結合單拱龍門式設計降低環(huán)境噪聲干擾，確保儀器具有良好的測量精度及重復性,。其500萬像素高分辨率彩色攝像機,，即時進行高精度定位測量。

采用具有超微力可調和亞納米級分辨率的臺階儀測量ITO膜厚,，高精度測量同時不損傷樣件本身,。

2、快速測量的能力

臺階儀配備精密XY位移臺,、360°電動旋轉平臺和電動升降Z軸,，可對樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進行調節(jié)，提高測量精度及效率,?？焖佾@取表面的高程數據，將測量結果以圖形的形式展現出來,。這提高了測量效率,，減少了測量時間。

3,、廣泛的適用范圍

臺階儀可以對各種不同材料的表面進行測量,，包括金屬、塑料,、玻璃等材料,。不管是平坦的表面還是曲面，臺階儀都能夠輕松應對,，確保測量結果的準確性和可靠性,。

典型應用