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布魯克 Dektak系列臺(tái)階儀/探針式輪廓儀

      BRUKER布魯克 Dektak系列臺(tái)階儀/探針式輪廓儀 ,，適用于納米級(jí)表面測量、表面形貌分析等多種領(lǐng)域,，具有超過50年的研發(fā)歷程,，技術(shù)成熟，性能可靠,。

      設(shè)備可實(shí)現(xiàn) 4? （0.4nm） 的優(yōu)異重復(fù)性和快速的掃描速度,，為微電子技術(shù)、半導(dǎo)體,、觸摸屏,、太陽能、高亮度 LED,、醫(yī)療和材料科學(xué),、薄膜與涂層、生命科學(xué)應(yīng)用等行業(yè)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)表面形貌測量技術(shù)提供支持,。

布魯克全新一代的臺(tái)階儀設(shè)備 - Dektak Pro

     Dektak Pro™ 以其多功能,，使用的便捷性和準(zhǔn)確的精度在薄膜厚度、臺(tái)階高度,、應(yīng)力、表面粗糙度和晶圓翹曲測量方面廣受贊許,。第十一代Dektak®系統(tǒng),，具有4 ?重復(fù)性的優(yōu)異表現(xiàn)，并提供200毫米平臺(tái)選項(xiàng),，在科研以及工業(yè)領(lǐng)域中可以為材料的表面形貌提供各種分析,。在表面測量方面，Dektak Pro是微電子技術(shù),、薄膜與涂層和生命科學(xué)應(yīng)用的理想選擇,。

強(qiáng)大的性能和重復(fù)性

      Dektak Pro以其強(qiáng)大的分辨率,、穩(wěn)定性、穩(wěn)健性和耐用性,，確保在未來數(shù)年甚至數(shù)十年內(nèi)提供可靠的優(yōu)質(zhì)結(jié)果,。新型號(hào)在Dektak平臺(tái)上繼承創(chuàng)新，提供更高的分辨率,、更低的噪聲和更便捷的探針更換,，所有這些因素對(duì)于優(yōu)化系統(tǒng)的重復(fù)性和準(zhǔn)確性至關(guān)重要。

      在適當(dāng)?shù)沫h(huán)境下,，Dektak Pro甚至能夠測量1納米的臺(tái)階高度,，并在1微米臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)上實(shí)現(xiàn)優(yōu)于4 ?的重復(fù)性。

性能體現(xiàn)在細(xì)節(jié)之中

      Dektak Pro的單拱設(shè)計(jì)有效降低了對(duì)不利環(huán)境條件（如噪聲和震動(dòng)）的敏感性,，同時(shí)又可容納大尺寸樣品測試,。新一代的智能電子技術(shù)應(yīng)用更大限度地減少了溫度變化和電子噪聲，從而減少了高精度測量中的誤差和不確定性,。

      低慣量傳感器（LIS 3）使系統(tǒng)能夠快速適應(yīng)表面形態(tài)的突然變化,，在動(dòng)態(tài)測量場景中保持準(zhǔn)確性和響應(yīng)性。探頭更換技術(shù)通過自對(duì)準(zhǔn)探頭夾具,，消除了錯(cuò)位和系統(tǒng)重新校準(zhǔn)的需要,，輕松完成探頭更換，耗時(shí)不到一分鐘,。

快速獲取結(jié)果

      Dektak Pro采用直驅(qū)掃描平臺(tái)技術(shù),，這一先進(jìn)的掃描平臺(tái)技術(shù)大大減少了測量的時(shí)間而不影響分辨率和噪聲底，從而加快了3D形貌或長輪廓掃描的結(jié)果獲取速度,，同時(shí)保持優(yōu)異的數(shù)據(jù)質(zhì)量和重復(fù)性,。

      Vision64®軟件采用64位并行處理技術(shù)，即使面對(duì)大數(shù)據(jù)也能實(shí)現(xiàn)快速的數(shù)據(jù)處理,。此外,，自動(dòng)化的多次掃描分析操作簡化了重復(fù)性任務(wù)，增強(qiáng)了速度和便捷性,。

經(jīng)典可靠的臺(tái)階儀 - Dektak XT

     布魯克 DektakXT 探針式輪廓儀（臺(tái)階儀）采用了革命性的臺(tái)式設(shè)計(jì),，結(jié)合成熟的技術(shù)和設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了高性能,、高易用性以及高性價(jià)比的統(tǒng)一,，從研發(fā)到質(zhì)量控制方面都有更好的過程控制。

設(shè)備特點(diǎn)：

-    強(qiáng)大性能,，臺(tái)階高度重現(xiàn)性低于4?

-    Single-arch（單拱門式）設(shè)計(jì),，提供突破性的掃描穩(wěn)定性

-    升級(jí)的“智能電子器件”，提高測試精度和穩(wěn)定性

-    優(yōu)化的硬件配置,，使數(shù)據(jù)采集時(shí)間縮短40%

-    64-bit,、Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件,，使數(shù)據(jù)分析速度提高了十倍

-    直觀的Vision64用戶操作界面，使用更簡單

-    針尖自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng),，讓用戶輕松更換針尖探針

-    廣泛的探針型號(hào)

-    單傳感器設(shè)計(jì)

-    確保高通量測試

探針式輪廓儀系統(tǒng)/臺(tái)階儀系統(tǒng) - Dektak XTL

      Dektak XTL 探針式輪廓儀系統(tǒng)（臺(tái)階儀系統(tǒng)）是為大型晶圓和面板制造等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的探針式輪廓儀系統(tǒng),，可容納高達(dá) 350mm x 350mm 的樣品，擁有高精度的掃描性能和優(yōu)異的可重復(fù)性和再現(xiàn)性,。

      設(shè)備采用空氣振動(dòng)隔離和全封閉工作站設(shè)計(jì),，具有易用的聯(lián)鎖門，可用于苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中,。雙攝像頭架構(gòu),，可增強(qiáng)空間感知能力。高自動(dòng)化水平可更大限度地提高測試通量,。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

-      Dektak系列臺(tái)階儀所具有的強(qiáng)大性能

-      單拱形架構(gòu),、集成振動(dòng)隔離系統(tǒng)和大型聯(lián)鎖門

-      更大且支持高精度編碼 XY 樣品工作臺(tái)

-      雙攝像頭控制系統(tǒng)

-      方便的分析和數(shù)據(jù)采集

-      N-Lite 低作用力，采用軟觸控技術(shù)

-      可靠的自動(dòng)化設(shè)置和操作

-      增強(qiáng)的分析軟件

-      針尖自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng),，讓用戶輕松更換針尖探針

-      廣泛的探針型號(hào)