NS系列半導體臺階儀應用場景適應性強，其對被測樣品的反射率特性,、材料種類及硬度等均無特殊要求,，可測量沉積薄膜的臺階高度、抗蝕劑（軟膜材料）的臺階高度等,。

NS系列臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時,，其集成了超低噪聲信號采集,、超精細運動控制、標定算法等核心技術,，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性,。

功能

1.參數(shù)測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻,、濺射,、SIMS、沉積,、旋涂,、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,，分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,，可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra、RMS,、Rv,、Rp、Rz等數(shù)十項參數(shù),。

3）應力測量：可測量多種材料的表面應力,。

2.測量模式與分析功能

1）單區(qū)域測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導航圖設置掃描起點和掃描長度，即可開始測量,。

2）多區(qū)域測量模式：完成Focus后,，根據(jù)影像導航圖完成單區(qū)域掃描路徑設置，可根據(jù)橫向和縱向距離來陣列形成若干到數(shù)十數(shù)百項掃描路徑所構成的多區(qū)域測量模式,，一鍵即可完成所有掃描路徑的自動測量。

3）3D測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導航圖完成單區(qū)域掃描路徑設置,，并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域?qū)挾然驋呙杈€條的間距與數(shù)量完成整個掃描面區(qū)域的設置,，一鍵即可自動完成整個掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建。

4）SPC統(tǒng)計分析：支持對不同種類被測件進行多種指標參數(shù)的分析,，針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢,。

3.雙導航光學影像功能

在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機,，在正視導航影像系統(tǒng)中可精確設置掃描路徑，在斜視導航影像系統(tǒng)中可實時跟進掃描軌跡,。

4.快速換針功能

NS系列半導體臺階儀采用了磁吸式測針,，當需要執(zhí)行換針操作時，可現(xiàn)場快速更換掃描測針,，并根據(jù)軟件中的標定模塊進行快速標定,，確保換針后的精度和重復性，減少維護煩惱,。

磁吸針實物外觀圖（330μm量程）

特點

1.亞埃級位移傳感器

具有亞埃級分辨率,，結合單拱龍門式設計降低環(huán)境噪聲干擾，確保儀器具有良好的測量精度及重復性,；

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調(diào),，以適應硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面，采用超低慣量設計和微小電磁力控制,，實現(xiàn)無接觸損傷的接觸式測量,；

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導軌，杜絕運動中的細微抖動,，真實地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌,。

典型應用

部分技術參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）