掃描電子顯微鏡促進了各有關學科的發(fā)展
掃描電子顯微鏡的設計思想和工作原理,早在1935年便已被提出來了,。1942年,,英國首先制成一臺實驗室用的掃描電鏡,但由于成像的分辨率很差,,照相時間太長,,所以實用價值不大,。經過各國科學工作者的努力,,尤其是隨著電子工業(yè)技術水平的不斷發(fā)展,,到1956年開始生產商品掃描電鏡。近數十年來,,掃描電子顯微鏡已廣泛地應用在生物學,、醫(yī)學、冶金學等學科的領域中,,促進了各有關學科的發(fā)展。
一.掃描電子顯微鏡的特點
和光學顯微鏡及透射電鏡相比,,掃描電子顯微鏡具有以下特點:
(一) 掃描電子顯微鏡能夠直接觀察樣品表面的結構,,樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。
(二) 樣品制備過程簡單,,不用切成薄片,。
(三) 樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉,因此,,可以從各種角度對樣品進行觀察,。
(四) 掃描電子顯微鏡景深大,圖象富有立體感,。掃描電鏡的景深較光學顯微鏡大幾百倍,,比透射電鏡大幾十倍。
(五) 圖象的放大范圍廣,,分辨率也比較高,。掃描電子顯微鏡可放大十幾倍到幾十萬倍,它基本上包括了從放大鏡,、光學顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍,。掃描電子顯微鏡分辨率介于光學顯微鏡與透射電鏡之間,可達3nm,。
(六) 電子束對樣品的損傷與污染程度較小,。
(七) 在觀察形貌的同時,掃描電子顯微鏡還可利用從樣品發(fā)出的其他信號作微區(qū)成分分析,。
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