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薄膜應(yīng)力量測設(shè)備FLX系列設(shè)備是由日本TOHO公司所生產(chǎn)的，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)薄膜應(yīng)力的量測,。測試原理 在硅晶圓或者其他材料基地上附著薄膜,，由于襯底于薄膜的物...

單點開爾文探針單點開爾文探針是一種非接觸、非破壞性振動電容裝置,用于測試導(dǎo)電材料的功函或半導(dǎo)體材料表面的表面電勢,，表面功函,。由材料表面最頂部的1-3層原子或分子...

單點開爾文探針單點開爾文探針是一種非接觸、非破壞性振動電容裝置,用于測試導(dǎo)電材料的功函或半導(dǎo)體材料表面的表面電勢,，表面功函,。由材料表面最頂部的1-3層原子或分子...

具備三維翹曲（平整度）及薄膜應(yīng)力的檢測功能，適用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn),、半導(dǎo)體制程工藝開發(fā),、玻璃及陶瓷晶圓生產(chǎn),，尤其具有測量整面翹曲曲率分布的能力。