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產(chǎn)地類(lèi)別	進(jìn)口	價(jià)格區(qū)間	面議
儀器種類(lèi)	精密切割機(jī)	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合

全自動(dòng)ACCRETECH東京精密紫外激光切割機(jī)

新型的激光引擎機(jī)構(gòu),，兼顧高質(zhì)量加工和高生產(chǎn)效率,。
傳統(tǒng)的激光開(kāi)槽工藝難以兼顧高質(zhì)量加工和高生產(chǎn)效率，兩者之間存在著一種“權(quán)衡"關(guān)系,。
通過(guò)新型的激光引擎機(jī)構(gòu)+高剛性平臺(tái)的組合,，我們提供了一種高質(zhì)量、高生產(chǎn)效率的激光開(kāi)槽工藝,，解決了兩者之間的“權(quán)衡"問(wèn)題,。

φ300mm晶圓對(duì)應(yīng)全自動(dòng)激光開(kāi)槽機(jī)
自動(dòng)支持從水溶性保護(hù)膜分配到激光切割、清洗的一系列工序,。

支持激光開(kāi)槽工藝,。
光學(xué)設(shè)計(jì)非常適合低k分組和從街道上方去除TEG。
加工變形和熱損傷被控制在較低限度,，并形成穩(wěn)定的加工槽,。

操作性：
采用17英寸觸摸屏+GUI（圖形用戶(hù)界面）。
只需輕觸圖標(biāo)化的按鈕,，即可輕松便捷地進(jìn)行操作,。
搭載與AD/SS系列通用的操作系統(tǒng)，操作簡(jiǎn)便,。

型號(hào)名稱(chēng)		AL3000
處理方法		消融
激光振蕩器		半導(dǎo)體激光器激發(fā)Q開(kāi)關(guān)固體激光器
波長(zhǎng)		355納米
最大工件尺寸		φ305毫米
切割行程		310毫米 x 310毫米
X軸	最大移動(dòng)速度	1,000 毫米/秒
Y軸	最大移動(dòng)速度	300毫米/秒
Y軸	定位精度	0.078 微米
Z軸	最大移動(dòng)速度	10毫米/秒
Z軸	重復(fù)精度	1.0 微米
θ軸	最大旋轉(zhuǎn)角度	380.0 度

電源	三相200～220VAC±10% 50/60Hz （380,、415V可選配變壓器）
功耗	2.0 kVA（參考值）
供氣壓力	0.5～0.7MPa
平均空氣消耗量	400升/分鐘
N2供給壓力	0.3～0.5MPa
N2平均消耗量	30升/分鐘
DI水供水壓力	0.3～0.5MPa
最大去離子水消耗流量	6.0升/分鐘
排氣	4.0立方米^/分鐘以上
尺寸（寬 x 深 x 高）	1,645 毫米 x 1,680 毫米 x 1,800 毫米
機(jī)器重量	2,500公斤

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