產品型號

GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下,， 溫度 25℃±15℃， 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。

1,、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz,，必須有良好接地

3,、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度 99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）

4,、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ,，承重 50kg 以上

5、通風裝置：不需要

主要特點

1,、設有真空表,、濺射電流表，可實時監(jiān)控工作狀態(tài),。

2,、通過調節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,，控制真空室壓強,、電離電流及選擇所需要的電 離氣體，以獲得鍍膜效果,。

3,、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

4,、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用,。

5、根據電場中氣體電離特性,，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶,，使濺射鍍層更均勻 純凈。

6 ,、已通過 CE 認證,。

技術參數

1、靶： ?45mm

2,、真空室： ?160mm×120mm

3,、真空度：≤4×10-2mbar

4、靶位： 3 個

5,、電流： 50mA

6,、可設定最長時間： 900s

7、微型真空氣閥： 連接 ?3mm 軟管

8,、電壓： 1600V    DC

9,、機械泵： 2L/s

標準配件

1

金靶材

1 個

2

銅靶材

1 個

3

鋁靶材

1 個

4

進氣針閥

1 個

5

保險絲

2 個

可選配件

金、銦,、銀,、鉑等各種靶材