目錄:北京鴻瑞正達科技有限公司>>鍍膜>> GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀2
產(chǎn)品簡介： GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理設計而成的,、 可靠、經(jīng)濟的鍍膜設備,。本機特別之處是在一個真空室內(nèi)安裝了三個靶,， 旋轉樣品臺可依次在同一樣品上 涂覆三種材料,。因此,，適用于實驗室各種復合膜樣品的制備,，以及非導體材料實驗電極的制作。
產(chǎn)品型號 | GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀 |
安裝條件 | 本設備要求在海拔 1000m 以下,， 溫度 25℃±15℃,， 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。 1、水：不需要 2,、電： AC220V 50Hz,，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上）,，需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ,，承重 50kg 以上 5,、通風裝置：不需要 |
主要特點 | 1、設有真空表,、濺射電流表,，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。 2,、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器,、微型真空氣閥，控制真空室壓強,、電離電流及選擇所需要的電 離氣體,，以獲得鍍膜效果。 3,、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計,，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。 4,、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用,。 |
5、根據(jù)電場中氣體電離特性,，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶,，使濺射鍍層更均勻 純凈。 |
6 ,、已通過 CE 認證,。 | |||
技術參數(shù) | 1、靶： ?45mm | ||
2,、真空室： ?160mm×120mm 3,、真空度：≤4×10-2mbar 4、靶位： 3 個 5,、電流： 50mA 6,、可設定最長時間： 900s | |||
7、微型真空氣閥： 連接 ?3mm 軟管 8,、電壓： 1600V DC 9,、機械泵： 2L/s | |||
標準配件 | 1 | 金靶材 | 1 個 |
2 | 銅靶材 | 1 個 | |
3 | 鋁靶材 | 1 個 | |
4 | 進氣針閥 | 1 個 | |
5 | 保險絲 | 2 個 | |
可選配件 | 金,、銦、銀,、鉑等各種靶材 | ||
2
化工儀器網(wǎng)