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產(chǎn)品型號(hào)

微型 PECVD 系統(tǒng)

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ,，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用,。

1、水：不需要

2,、電： AC220V 50Hz,，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,，需自備氣瓶氣源

4,、工作臺(tái)： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上

5,、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1,、加熱圈套有石英罩，以減小熱量損失,。

2,、樣品可置于加熱線圈內(nèi),，以達(dá)到更好的加熱效率和溫度均勻性。

3 ,、采用 PID 方式調(diào)節(jié)溫度,， 可設(shè)置 30 段升降溫程序。

4,、設(shè)有一滑動(dòng)法蘭安裝于移動(dòng)加上,，以便于樣品的放入和取出。

5 ,、已通過(guò) CE 認(rèn)證,。

技術(shù)參數(shù)

等離子源

1、等離子體射頻電源： 110V/220V    50Hz/60Hz    <100W

2,、輸出頻率： 13.56MHz

3,、射頻功率： 7.2W 、10.5W ,、18W 三檔,，可調(diào)節(jié)

4、腔體尺寸： 外徑 ?76.2mm×內(nèi)徑 ?68.58mm×長(zhǎng) 406.4mm

5 ,、加熱圈： 電源 220V ,，功率 500W ，外徑 ?50mm×內(nèi)徑 ?40mm×70mm ,，并套有內(nèi)徑 ?50.8mm×?75mm 的石英罩

6,、法蘭： ?3″不銹鋼法蘭， 設(shè)有 KF-25 真空泵接口,、 1/4″卡套接頭,、不銹鋼針閥

7、通入氣體：可通入多種惰性氣體,， 如 N2 ,、Ar，不可通入易燃易爆性氣體

8,、真空度： 10-2torr  （機(jī)械泵）

兩通道混氣系統(tǒng)

1、浮子流量計(jì)： 10ml/min-100ml/min ,，2 個(gè)

2,、針閥： 304 不銹鋼針閥， 3 個(gè)

3,、壓力表： -0.1MPa-1.0MPa（0.01MPa/grid）,， 3 個(gè)

真空泵

1、抽氣速率： 120L/min

2,、接口： KF-25

產(chǎn)品規(guī)格

1 ,、尺寸： 等離子源 216mm×254mm×203mm ,，控制盒 102mm×254mm×203mm，兩通道混 氣系統(tǒng) 340mm×300mm×180mm  ,，移動(dòng)架 600mm×600mm×1250mm

2,、重量： 32kg