目錄:深圳市錫成科學(xué)儀器有限公司>>輪廓/膜厚測量>>光學(xué)輪廓儀>> Profilm 3D白光干涉儀
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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白光干涉儀
Profilm 3D
支持垂直掃描和移相干涉測量法,，高分辨率地測量亞納米級的表面形貌。采用TotalFocus 技術(shù),，可以產(chǎn)生令人驚嘆的 3D 自然彩色圖像,，每個像素都處于聚焦?fàn)顟B(tài)。
在 Profilm3D 測量技術(shù)中,，測量的垂直分辨率不依賴于物鏡的數(shù)值孔徑,，能夠同時以大視場進(jìn)行高分辨率的測量。通過將多個視場拼接到單次測量中，可以進(jìn)一步增大測量區(qū)域,。
應(yīng)用范圍
a 從納米級到毫米級的3D臺階高度
a 3D粗糙度,、波紋度、翹曲度和形狀,，紋理表征
a 3D缺陷表面形貌,、缺陷表征
a 大型透明薄膜的表面進(jìn)行高分辨率掃描
a 高粗糙度，低反射率,，劃痕表征
a 3D邊緣輪廓測量
2mm寬視野
Profilm3D以10倍物鏡提供2毫米視野,提供手動或自動物鏡切換炮塔等配置,，適用于多物鏡使用場合
自動樣品臺
100 /200mm自動XY樣品平臺,，自動對焦,，Tip-Tilt功能
長程掃描
500μm長壓電行程范圍內(nèi)自動對焦，可掃描高度相隔甚遠(yuǎn)的多個表面
粗糙度成像增強(qiáng)
粗糙度增強(qiáng)模式 (ERM) 可提高條紋對比度,，從而提高透鏡等斜率較大的表面的保真度,，并改善了粗糙表面上的信噪比
移相干涉成像（PSI）
移相干涉技術(shù)可精確測量亞納米級的表面特征
TotalFocus 無限景深成像
由于高倍物鏡景深較小，傳統(tǒng)顯微技術(shù)無法觀察整個視野,，TotalFocus可提供全視野像素級聚焦,，可在對焦每個像素時捕捉到真彩色3D圖像。此功能可用于分辨具有不同光學(xué)特性的材料之間的邊界,。
光學(xué)性能 機(jī)械規(guī)格
主要參數(shù) | WLI（VSI） | PSI（選配） | Z軸行程 | 100mm | |
厚度量程 | 50nm～10mm | 0～3μm | Pizeo（壓電）行程 | 500μm | |
RMS重復(fù)性 | 1.0nm | 0.1nm | 垂直掃描速度 | 12μm/秒 | |
臺階高度精度 | 0.7% | 相機(jī) | 2592 x 1944（5MP） | ||
臺階高度重復(fù)性 | 0.1% | 相機(jī)變焦 | 1×,，2×，4× | ||
樣品反射率 | 0.05%～100 | Tip-Tilt樣品臺 | ±5°,，手動 | ||
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