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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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CMP后清洗機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)GNP CEANER-412S

品牌G&P

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地韓國(guó)

更新時(shí)間：2025-06-06 12:14:15瀏覽次數(shù)：460次

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GNP CLEANER-412S型CMP后清洗機(jī)集成了兩個(gè)雙刷站,，設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小,，可清洗(4“~12“)晶圓,。

1. 產(chǎn)品概述：

GNP CLEANER-412S型CMP后清洗機(jī)集成了兩個(gè)雙刷站，設(shè)計(jì)緊湊,，占地面積小,，可清洗(4“~12“)晶圓。

適用晶圓尺寸:100mm(4")和300mm(12")

配置:噴淋清洗,、單邊刷清洗,、旋轉(zhuǎn)漂洗干燥(可選:分離QDR)

清潔器尺寸:1,100W 1,100D 1,650Hmm

電刷尺寸:070(外徑)032(內(nèi)徑)170(長(zhǎng))毫米

刷隙調(diào)節(jié):PLC自動(dòng)控制(可選刷隙范圍:-10mm ~ 2mm)

化學(xué):NH4OH ~ 1%

可用刷型:雙面PVA刷

電刷轉(zhuǎn)速:最高400rpm

旋轉(zhuǎn)速度:手動(dòng)加載與自動(dòng)順序，濕入/干出,，最大2,000rpmDIW沖洗/ N2吹

2. 工藝流程

手動(dòng)加載,，自動(dòng)順序，濕/干液晶觸摸屏顯示器,，程序控制PLC式


6/8英寸全自動(dòng)槽式清洗機(jī)

GAMA系列6/8英寸全自動(dòng)槽式清洗機(jī)滿足全部濕法工藝需求,，覆蓋RCA

12英寸槽式清洗設(shè)備

12英寸槽式清洗設(shè)備Pinnacle300平臺(tái)適用于集成電路、功率半導(dǎo)

全自動(dòng)硅料清洗機(jī)

主要用于對(duì)硅材料行業(yè)中多晶硅塊進(jìn)行清洗干燥處理

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