1.產(chǎn)品特點(diǎn)

80 Plus 條形等離子清潔系統(tǒng)為半導(dǎo)體加工而開發(fā)，可支持手動(dòng)及自動(dòng)操作,，兩種操作方式均簡(jiǎn)單易用,。該系統(tǒng)可以配備或不配備裝卸站；此外,，每個(gè)裝卸站都可支持不同的配置,。即便沒(méi)有裝卸站,，也可將其集成到生產(chǎn)線中。

2.產(chǎn)品配置

該軟件直觀,，滿足當(dāng)半導(dǎo)體行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn),，其主要應(yīng)用域是表面的活化和清潔。80 Plus系統(tǒng)操作十分高效,，加上其等離子技術(shù),，使用它進(jìn)行等離子處理只需幾即可完成。

通過(guò)使用該系統(tǒng)進(jìn)行等離子處理,，可以快速有效地清除晶圓表面的雜質(zhì)和污染物,。這有助于提高晶圓的質(zhì)量和性能，并確保生產(chǎn)過(guò)程中的穩(wěn)定性和一致性,。

另外，80 Plus系統(tǒng)還具有智能控制功能,，可根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行參數(shù)調(diào)整,。這使得用戶可以根據(jù)不同的加工要求來(lái)優(yōu)化處理過(guò)程，并獲得佳的加工效果,。

除了晶圓表面清潔功能外,，80 Plus系統(tǒng)還可以用于其他應(yīng)用域。例如,，在光伏行業(yè)中,，它可以用于太陽(yáng)能電池片的制造過(guò)程中，提高電池片的效率和穩(wěn)定性,。

PVA TePla 提供研發(fā)和合同代加工的廣泛應(yīng)用服務(wù),。 許多客戶利用這些服務(wù)進(jìn)行臨床試驗(yàn)和中小型生產(chǎn)。

80 Plus 等離子系統(tǒng)提供兩種電配置

離子配置：射頻為 13.56 MHz 的電磁輻射通過(guò)電被送入腔室,，以便通過(guò)加速離子實(shí)現(xiàn)表面轟擊,。除了這種物理效應(yīng)，還有一種化學(xué)效應(yīng),，但它比使用微波頻率時(shí)獲得的效果要小,。

千兆配置：如果等離子設(shè)備配備微波發(fā)生器，則使用 2.45 GHz 的頻率,。腔室中沒(méi)有電,；微波在真空室外部產(chǎn)生，然后通過(guò)天線或波導(dǎo)輸入,。具有這種配置的等離子體以純化學(xué)方式工作,。