1. 產(chǎn)品概述
RIE-200C是在擁有豐富交貨業(yè)績的CCP RIE系統(tǒng) "RIE-10NR "的基礎(chǔ)上開發(fā)的量產(chǎn)型盒式裝載系統(tǒng),。該系統(tǒng)可對Si、Poly-Si,、SiO?,、SiN等各種硅薄膜進(jìn)行高精度蝕刻和灰化,。采用雙盒雙臂機(jī)械手,PLC控制全自動(dòng)操作,,高性能存儲(chǔ)工藝參數(shù),,實(shí)現(xiàn)了高產(chǎn)量。
2. 設(shè)備用途/原理
Si,、Poly-Si,、SiO?、SiN等各種硅薄膜的高精度蝕刻,。光阻劑的灰化,、剝離、除塵,,清除有機(jī)污染物,。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
大氣高速傳輸系統(tǒng),該系統(tǒng)配備了一個(gè)大氣盒室和一個(gè)大氣傳輸機(jī)器人,,而不是通常的裝載鎖定室,。它可以處理大?8 "晶圓的自動(dòng)加工,并且可以安裝在兩個(gè)盒式箱中,。全自動(dòng)操作,,通過觸摸屏可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)操作,通過PLC控制可實(shí)現(xiàn)過程管理和數(shù)據(jù)記錄,。