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鋁物理氣相沉積系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)eVictor Al PVD

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地北京市

更新時(shí)間：2024-09-05 17:07:46瀏覽次數(shù)：634次

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eVictor Al PVD 鋁物理氣相沉積系統(tǒng)，優(yōu)良的磁控濺射系統(tǒng),，有效提高薄膜均勻性及靶材利用率,。

1. 產(chǎn)品概述

eVictor Al PVD 鋁物理氣相沉積系統(tǒng),，優(yōu)良的磁控濺射系統(tǒng),，有效提高薄膜均勻性及靶材利用率,。

2. 設(shè)備用途/原理

eVictor Al PVD 鋁物理氣相沉積系統(tǒng)，優(yōu)良的磁控濺射系統(tǒng),，有效提高薄膜均勻性及靶材利用率,，加熱基座和高溫靜電卡盤設(shè)計(jì)，具備良好的溫度均勻性,，全新雙腔傳輸平臺(tái),，可配置性強(qiáng)，多可支持 10 個(gè)工藝模塊,，優(yōu)質(zhì)的 Whisker 解決方案,，降低產(chǎn)品缺陷，大產(chǎn)能,，低運(yùn)營(yíng)成本,。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 8、12 英寸,，適用材料 高溫鋁,、氮化鉭、氮化鈦,。適用工藝 熱鋁,、鋁焊盤、鋁線,，適用域 新興應(yīng)用,。

濺射系統(tǒng)

iTops PVD AlN 濺射系統(tǒng)，采用托盤形式,，可兼容 2/4/6

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