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當前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>2 PVD>> Polaris系列8英寸 通用物理氣相沉積系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號Polaris系列
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地北京市
更新時間：2024-09-05 16:01:00瀏覽次數(shù)：412次
聯(lián)系我時,，請告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
Polaris系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)
2. 設(shè)備用途/原理
Polaris系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng),，多種材料膜層工藝能力,，低損傷，高深寬比填充能力,，獨立工藝腔室,，多可支持 6 個工藝模塊，優(yōu)異的溫度,，顆?？刂颇芰?/span>，配置靈活,、大產(chǎn)能,、低運營成本。
3. 設(shè)備特點
晶圓尺寸 6,、8 英寸,，適用材料 銀、鎢化鈦,、金,、鉑、鈦、氮化鈦,、鋁,、鉻等，適用工藝 倒裝工藝,、金屬電等,，適用域 新興應(yīng)用、科研,、化合物半導(dǎo)體,。物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition，PVD)技術(shù)是指在真空條件下采用物理方法將材料源（固體或液體）表面氣化成氣態(tài)原子或分子,，或部分電離成離子,，并通過低壓氣體（或等離子體）過程，在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術(shù),， 物理氣相沉積是主要的表面處理技術(shù)之一,。
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