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深圳市矢量科學儀器有限公司

感應式碳化硅長晶爐

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號APS系列

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質經(jīng)銷商

所在地北京市

更新時間：2025-06-05 12:23:41瀏覽次數(shù)：453次

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APS系列 感應式碳化硅長晶爐,，適用于 6 英寸,、8 英寸,，導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長,。

1. 產(chǎn)品概述

APS系列 感應式碳化硅長晶爐，適用于 6 英寸,、8 英寸，導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長,。

2. 設備用途/原理

APS系列 感應式碳化硅長晶爐,，適用于 6 英寸、8 英寸,，導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長,。創(chuàng)新的結構設計，提供高純材料生長能力,。智能的運行 / 監(jiān)控系統(tǒng),，適于長時間 / 高溫 / 低壓工藝，拓寬高質量 / 大規(guī)模晶體生長窗口,。包含多款輔助設備：大產(chǎn)能原料合成爐,、晶錠退火爐、氮化鋁長晶爐及 其他定制化設備,。

3. 設備特點

晶體尺寸 6,、8 英寸，加熱方式 感應加熱,，適用材料 碳化硅,、氮化鋁,，適用工藝 物理氣相輸運法（PVT 法）,，適用域 科研,、化合物半導體,。


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