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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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多片式MOCVD系統(tǒng)

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號Satur系列

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地北京市

更新時間：2025-06-05 12:13:24瀏覽次數(shù)：569次

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Satur系列 多片式MOCVD系統(tǒng),，優(yōu)異的均勻性,、一致性、穩(wěn)定性控制,，MOCVD 即金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積,，是一種用于生長化合物半導(dǎo)體薄膜的技術(shù)。它通過將Ⅲ族元素的有機(jī)化合物和氨氣或氧氣等作為晶體生長源材料,，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外延,，生長各種化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。

1. 產(chǎn)品概述

Satur系列 多片式MOCVD系統(tǒng),，優(yōu)異的均勻性,、一致性、穩(wěn)定性控制,，MOCVD 即金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積,，是一種用于生長化合物半導(dǎo)體薄膜的技術(shù)。它通過將Ⅲ族元素的有機(jī)化合物和氨氣或氧氣等作為晶體生長源材料,，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外延,，生長各種化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。

2. 設(shè)備用途/原理

Satur系列 多片式MOCVD系統(tǒng),，優(yōu)異的均勻性,、一致性、穩(wěn)定性控制,，盒對盒全自動傳輸系統(tǒng),，優(yōu)良的實時監(jiān)控系統(tǒng),，友好界面與配方編輯功能,，滿足 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn)。

3. 設(shè)備特點

晶圓尺寸 4,、6,、8 英寸，沉積材料 氮化鎵、砷化鎵,、磷化銦,。適用材料 硅、碳化硅,、氧化鋁,、砷化鎵、磷化銦,。適用領(lǐng)域 科研,、集成電路、化合物半導(dǎo)體,。

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