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?金剛石厚度測(cè)試的方法主要包括以下幾種?：

1. ?X射線檢測(cè)?：將樣品放置在X射線檢測(cè)機(jī)的樣品室載物臺(tái)上，曲面朝上,，用美工膠紙固定,。調(diào)整工作電壓至90KV，工作電流100μA,，選擇合適的放大倍數(shù)拍照,、測(cè)量并保存數(shù)據(jù)。X射線檢測(cè)可以清晰地顯示金剛石復(fù)合片的邊界和各層厚度?1,。

2. ?超聲檢測(cè)?：使用水浸超聲掃描顯微鏡設(shè)備進(jìn)行檢測(cè),。將金剛石復(fù)合片放入設(shè)備探頭正下方，校準(zhǔn)探頭及工件參數(shù),，進(jìn)行超聲檢測(cè),。超聲C掃描呈像可以清晰地顯示金剛石復(fù)合片的厚度和內(nèi)部缺陷情況,，如裂痕和空洞等?2。

3. ?三維工業(yè)CT/X-RAY?：通過(guò)三維工業(yè)CT或X射線掃描設(shè)備,，可以提供高精度的內(nèi)部缺陷檢測(cè),。這種方法適用于芯片和電子器件的內(nèi)部缺陷檢測(cè)，能夠精準(zhǔn)定位內(nèi)部問(wèn)題?

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