非接觸式無損測(cè)厚儀采用的工作原理是光熱紅外法,。利用光源照射物體表面,通過對(duì)激勵(lì)光源進(jìn)行強(qiáng)度調(diào)制，在材料中產(chǎn)生熱波,，光源激發(fā)的熱量通過熱波在涂層中向深處傳播,，這一熱波在涂層與基材的邊界處反射并最終傳播出涂層以紅外熱輻射的形式被探測(cè)器接收。涂層越厚,該過程花費(fèi)的時(shí)間越長(zhǎng),。因此利用紅外探測(cè)器探測(cè)紅外熱輻射(相移)的信號(hào)就可以獲得涂層的厚度信息,。由于表征涂層厚度(或其他參數(shù))的不是信號(hào)幅度而是信號(hào)相位,即輻射熱波相對(duì)于激發(fā)光波的時(shí)間偏移,因此這種測(cè)量方式對(duì)測(cè)量距離或探測(cè)角度的變化不敏感。這樣,可以非常高精度地測(cè)量涂層厚度和面密度,。光熱紅外法測(cè)量的精度在亞微米范圍內(nèi),通常比目前工業(yè)上常用的測(cè)量方式要精確得多,。