目錄:青島天仁微納科技有限責(zé)任公司>>納米壓印設(shè)備>> GL SR300 300mm步進(jìn)式納米壓印光刻/拼版設(shè)備
GL SR300 300mm步進(jìn)式納米壓印光刻/拼版設(shè)備是一種步進(jìn)式紫外納米壓印設(shè)備，可以在300mm尺寸基底上加工精度優(yōu)于20納米的三維結(jié)構(gòu),，還可以用于將小面積納米壓印模具通過步進(jìn)式壓印拼接成大面積壓印母模具。
GL SR300是一種步進(jìn)式紫外納米壓印設(shè)備,，可以在300mm尺寸基底上加工精度優(yōu)于20納米的三維結(jié)構(gòu),，還可以用于將小面積納米壓印模具通過步進(jìn)式壓印拼接成大面積壓印母模具。
通常納米壓印模具的加工需要利用的電子束或者激光直寫技術(shù),、刻蝕技術(shù)等,，加工大面積納米壓印母模具成本極其高昂，技術(shù)可行性很低,。通過GL SR300步進(jìn)式納米壓印技術(shù)可以將小面積納米壓印模具拼接成大面積納米壓印母模具,，然后從大面積母模具可以復(fù)制大面積工作模具，用來進(jìn)行大幅面壓印,。這種方式可以大大降低納米壓印模具成本,，使得低成本納米壓印生產(chǎn)成為可能。
●300mm步進(jìn)式紫外納米壓印
●支持從微透鏡復(fù)制到整面微透鏡陣列模具,，用做晶圓級光學(xué)加工母模具
●支持從小面積高精度納米結(jié)構(gòu)模具復(fù)制到大幅面模具,，用作CLIV全副面壓印母模具
●支持各種模具材質(zhì)與形狀
●支持旋涂壓印膠基底步進(jìn)式壓印復(fù)制，適用于高精度納米結(jié)構(gòu)模具拼接
●設(shè)備自帶點(diǎn)膠裝置,，支持點(diǎn)膠步進(jìn)式壓印復(fù)制,，適用于微透鏡陣列等晶圓級光學(xué)結(jié)構(gòu)模具拼接
●標(biāo)配高功率紫外LED面光源（365nm，光強(qiáng)>200mW/cm2 ）,，水冷冷卻,，特殊功率以及特殊、混合波長光源可訂制,，支持各種商用納米壓印材料
●標(biāo)配設(shè)備內(nèi)部潔凈環(huán)境與除靜電裝置
●高精度閉環(huán)控制位移平臺,，定位精度優(yōu)于1μm
| 兼容基底尺寸 | <300mm方形 |
| 支持基底材料 | 硅片、玻璃,、石英,、塑料、金屬等 |
| 納米壓印技術(shù) | 步進(jìn)式納米壓印 |
| 壓印精度 | 優(yōu)于20納米* |
| 結(jié)構(gòu)深寬比 | 優(yōu)于10比1* |
| 殘余層控制 | 可小于10nm* |
| 紫外固化光源 | 紫外LED（365nm）面光源,，光強(qiáng)>1000mW/cm2,，水冷冷卻（2000mW/cm2類型光源可選配） |
| 設(shè)備內(nèi)部環(huán)境控制 | 標(biāo)配,，外部環(huán)境Class 100，內(nèi)部環(huán)境可達(dá)Class 10 |
| 自動壓印 | 支持 |
| 自動脫模 | 支持 |
自動工作模具復(fù)制 | 支持 |
自動點(diǎn)膠 | 選配 |
單次壓印面積 | 50x50mm |
定位精度 | 優(yōu)于1μm |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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