Sentech多層膜厚測(cè)量?jī)xSENpro

Sentech多層膜厚測(cè)量?jī)xSENpro具有操作簡(jiǎn)單，測(cè)量速度快,，能對(duì)不同入射角的橢偏測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行組合分析等特點(diǎn),。可測(cè)量1nm~15μm的薄膜。SENpro的光譜范圍與精密的SpectraRay/4軟件相結(jié)合,，可以輕易地確定單層膜和復(fù)合層疊膜的厚度和折射率,。

步進(jìn)掃描分析器

Sentech多層膜厚測(cè)量?jī)xSENpro具有*的步進(jìn)掃描分析器。在數(shù)據(jù)采集過(guò)程中,，偏振器和補(bǔ)償器固定,，以提供高的橢偏測(cè)量精度。

具有成本效益的桌面式SENpro包括可見(jiàn)光到近紅外橢偏儀光學(xué),，5°步進(jìn)角度計(jì),，樣品臺(tái)、激光準(zhǔn)直器,、光纖耦合穩(wěn)定光源和探測(cè)器單元,。

可變?nèi)肷浣?/font>

光譜橢偏儀SENpro包括可變?nèi)肷浣堑慕嵌扔?jì)，40°—90°,，步進(jìn)值5°,，用于優(yōu)化橢偏測(cè)量。

SENpro配備了用于系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析的光譜橢偏儀軟件SpectraRay/4 ,，用于包括建模,，擬合和報(bào)告輸出。即使對(duì)于初學(xué)者,，該程序文件操作都非常容易,。SpectraRay/4 支持計(jì)算機(jī)控制的用于均勻性測(cè)量的自動(dòng)掃描。

SENpro專注于薄膜測(cè)量的速度和精度,，不管是何種薄膜應(yīng)用,。測(cè)量范圍從1 nm的薄層膜到15 μm的厚層膜。

對(duì)于各種各樣的應(yīng)用,，SpectraRay/4都提供了預(yù)定義的配方,。

可見(jiàn)光-近紅外段的光譜橢偏儀

光譜范圍：370 nm - 1050 nm

測(cè)量單層/多層膜的膜厚、折射率、消光系數(shù)

全光譜范圍測(cè)量時(shí)間<10秒（>500個(gè)波長(zhǎng)點(diǎn))可變?nèi)肷浣牵?0 - 90°,，步進(jìn)值5°

高穩(wěn)定光源

步進(jìn)掃描起偏器

寬帶補(bǔ)償器

激光準(zhǔn)直器

可調(diào)高度/俯仰樣品臺(tái)

光電二極管陣列探測(cè)器

SpectraRay /4橢偏測(cè)量/分析軟件

可選項(xiàng)：

Mapping自動(dòng)掃描：50 x50-200 x 200 mm2

自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡ACT

軟件SpectraRay/4

建模

測(cè)量參數(shù)可以模擬作為波長(zhǎng),、光子能量、倒數(shù)厘米,、入射角,、時(shí)間、溫度,、薄膜厚度測(cè)量和其他參數(shù)的函數(shù)

自動(dòng)掃描

我們光譜橢偏儀的自動(dòng)掃描的選項(xiàng)具有預(yù)定義或用戶定義的模式,、廣泛的統(tǒng)計(jì)以及數(shù)據(jù)的圖形顯示，如2D顏色,、灰度,、輪廓、+/-偏離平均值和3D繪圖,。

交互模式

設(shè)定測(cè)量參數(shù)并開(kāi)始薄膜厚度測(cè)量

通過(guò)從材料庫(kù)或從已有的散射模型中拖放來(lái)構(gòu)建模型

定義和改變參數(shù)以將計(jì)算的光譜與實(shí)測(cè)光譜擬合

交互式改進(jìn)以實(shí)現(xiàn)模型

通過(guò)從預(yù)定義或定制的模板中進(jìn)行選擇,，將結(jié)果作為word文檔報(bào)告輸出

將所有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、協(xié)議和記錄保存在同一個(gè)實(shí)驗(yàn)文件中

配方模式

1.選擇

2.從材料庫(kù)執(zhí)行預(yù)定義的配方,。

該配方包括厚度測(cè)量參數(shù),、模型,、擬合參數(shù)和報(bào)告模板,。