Sentech激光橢偏儀與干涉膜厚儀-Se500adv

SE 500adv結(jié)合了橢偏儀和反射儀,，除了測量透明膜層厚度的模糊性,。它把可測量的厚度擴展到25m，因此SE 500adv擴展了標準激光橢偏儀SE 400adv的能力,，特別適用于分析較厚的介質(zhì)膜,、有機材料、光阻,、硅和多晶硅薄膜,。

橢偏測量和反射測量的結(jié)合允許通過自動識別循環(huán)厚度周期來快速且明確地確定透明膜的厚度。

寬測量范圍

激光橢偏儀和反射儀的結(jié)合將透明薄膜的厚度范圍擴展到25μm,，更多地取決于光度計的選項,。

擴展激光橢偏儀的極限

性能優(yōu)異的多角度手動角度計和角度精度*的激光橢偏儀允許測量單層薄膜和層疊膜的折射率、消光系數(shù)和膜厚。

測量太陽能電池硅片上的增透膜的厚度和折射率,，是生產(chǎn)高性能太陽能電池的先決條件之一,。橢偏儀測量因為其快速和非接觸光學測量方法，適合用來測量膜厚和折射率,。但是,，多晶硅的粗糙表面明顯降低測量效果，甚至根本不能測量,。SENTECH公司開發(fā)了高靈敏度和可靠度的632.8 nm單波長橢偏儀,，適合分析太陽能電池上的增透膜。高穩(wěn)定性補償器被用來測量反射光的橢偏角并用來證實*測量的橢偏數(shù)據(jù)的有效性,。樣品是不同的多晶硅上的氮化硅減反射膜,。該領(lǐng)域的儀器已經(jīng)能夠測量其膜層的厚度和折射率。

SE 500adv可作為激光橢偏儀,、膜厚探針和CER橢偏儀使用,。因此，它提供了標準激光橢偏儀從未達到的大靈活性,。作為橢偏儀,，可以進行單角度和多角度測量。當用作膜厚探針時,，在正常入射下測量透明或弱吸收膜的厚度,。

SE 500adv中的橢偏測量和反射測量的組合包括橢圓測量光學部件、角度計,、組合反射測量頭和自動準直透鏡,、樣品臺,、氦氖激光光源,、激光檢測單元和光度計。

SE 500adv的選項支持在微電子,、微系統(tǒng)技術(shù),、顯示技術(shù)、光伏,、化學等領(lǐng)域的應(yīng)用,。

SE 500adv可按三種模式操作,比通用橢偏儀具有更好的靈活性:

橢偏儀模式:用632.8 nm激光測量1到3層膜的光學系數(shù)和膜厚

膜厚儀模式:用白光反射干涉原理測量單層或多層的透明或弱吸收膜（膜的光學常數(shù)已知)

CER模式:自動識別透明膜的測量周期,可確定透明膜的Cauchy相關(guān)系數(shù)

可選項：

Mapping自動掃描：50×50~300 × 300 mm2

自動準直： 高度/俯仰自動調(diào)節(jié)

自動角度計： (20°) 40° - 90°

微細光斑：直徑30 um

視頻攝像頭：數(shù)字Camera

樣品液體池：液體可流動、可加熱

橢偏分析軟件：SpectraRay / 4

標準片各種厚度