Sentech激光橢偏儀 SE400adv-太陽(yáng)能電池膜厚測(cè)量?jī)x

sentech透明膜膜厚儀激光橢偏儀

在測(cè)量太陽(yáng)能電池粗糙表面反射膜方面,，有出色的表現(xiàn),。

非接觸光學(xué)測(cè)量，可測(cè)量薄膜厚度,、折射率,、吸收系數(shù)、偏振角度,。

高穩(wěn)定性和精度,。由于其具有穩(wěn)定激光光源、溫度補(bǔ)償裝置,、起偏器跟蹤和極低噪聲探測(cè)器,。

光學(xué)自動(dòng)準(zhǔn)直設(shè)計(jì)。

快速,、簡(jiǎn)單易操作,，可選擇應(yīng)用特定的入射角度,。

支持多角度測(cè)量，以便分析更復(fù)雜的樣品和更準(zhǔn)確的厚度,。

多角度激光橢偏儀 SE400advanced 能夠測(cè)量薄膜厚度及其光學(xué)常數(shù),，使用 632.8nm 波長(zhǎng)氦氖激光器，具有*的精度和準(zhǔn)確度,。SE400advanced可用來(lái)測(cè)量單層,、多層和大尺寸材料。SE400advanced 的功能基于橢圓偏振光原理,，一種使用激光偏振光的非接觸光學(xué)反射測(cè)量方式,。

由于 sentech透明膜膜厚儀激光橢偏儀SE400advanced *、易用,、Recipe 模式導(dǎo)向和功能強(qiáng)大的軟件,，SE400advanced 能夠滿足研發(fā)需求和生產(chǎn)中的質(zhì)量控制需求。它包含了大范圍的應(yīng)用,，比如微電子學(xué),、III-V 半導(dǎo)體、生物和生命科學(xué),、顯示技術(shù),、磁介質(zhì)、金屬處理和其他應(yīng)用,。對(duì)ψ,?的高靈敏度測(cè)量和極低噪聲探測(cè)器,，使其能夠測(cè)量非理想的、散射的,、粗糙表面的膜層,，比如太陽(yáng)能電池表面的減反射膜的測(cè)量。

SE400advanced 被設(shè)計(jì)用來(lái)將橢偏儀測(cè)量理論的全部潛能發(fā)揮到極限,。由于 SE400advanced 具有高穩(wěn)定補(bǔ)償器,、電腦控制的穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)分析器和自動(dòng)定位起偏器，能夠測(cè)量極薄的膜層,，也能夠測(cè)量各種吸收基底或透明基底上的粗糙表面薄膜,。

SE400advanced 包含了一個(gè)高性能、精密的手動(dòng)角度計(jì),，確保了在較短測(cè)量時(shí)間內(nèi)的多角度測(cè)量,，以便分析復(fù)雜樣品。

SE400advanced 是簡(jiǎn)潔緊湊的設(shè)備,，能夠快速啟動(dòng)并運(yùn)行,。通過(guò)以太網(wǎng)連接的 PC 或筆記本電腦對(duì)設(shè)備進(jìn)行控制。新的操作系統(tǒng)和 PC 會(huì)被使用,。

SE400advanced 軟件描述

必要的測(cè)量和分析步驟被優(yōu)化,，使過(guò)程被簡(jiǎn)化到只需操作單個(gè)按鈕就能夠完成強(qiáng)大測(cè)量功能,。預(yù)先定義的應(yīng)用Recipe能夠讓使用變得簡(jiǎn)易。由于可以利用所提供的全面的材料數(shù)據(jù)庫(kù),，能夠很輕松的添加或更改測(cè)量Recipe,。SE400advanced 軟件支持本地化，能夠支持不同的語(yǔ)言：英語(yǔ)（默認(rèn)）,，德語(yǔ),。其他使用西里爾字母和亞洲字母的語(yǔ)言也能夠被很好的支持。

技術(shù)指標(biāo)：

波長(zhǎng)： 632.8 nm 氦氖激光器 (Class 1 device)

90°位置 時(shí)ψ,?精度：δ(ψ)=0.002° δ(?)=0.002°

長(zhǎng)期穩(wěn)定性：δ(ψ) = ±0.01° ,；δ(?)= ±0.1°

膜厚測(cè)量精度：0.1 Å for 100 nm SiO2 on Si

折射率測(cè)量精度：5x10-4 for 100 nm SiO2 on Si

透明薄膜的厚度范圍：最大4 µm

弱吸光性薄膜厚度范圍 (多晶硅)：最大2 µm

膜層數(shù)量：默認(rèn): 在基底或多層膜上的1-3層膜

測(cè)量時(shí)間：120 ms ….. 1.5 s (決定于測(cè)量方式)

設(shè)置：PCSA with Compensator

高穩(wěn)定性補(bǔ)償器Compensator, 可得到 0° 和180°附近?的高精度

電腦控制的起偏器 Polarizer,，定位/探測(cè)，自動(dòng)校準(zhǔn)高穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)分析器Analyzer

激光束直徑：1 mm

入射角： 手動(dòng)角度計(jì)40° - 90°, 步進(jìn)值5°

樣品對(duì)準(zhǔn)：用于樣品傾斜角度和高度手動(dòng)調(diào)整的自動(dòng)校準(zhǔn)鏡(ACT)

選項(xiàng)： 自動(dòng)對(duì)焦

樣品載物臺(tái)：可調(diào)節(jié)高度和角度的樣品臺(tái),，150mm直徑

選項(xiàng):-真空吸盤

- x-y 地形圖掃描載物臺(tái)

設(shè)置和保養(yǎng)：橢偏儀的自動(dòng)校準(zhǔn), 保養(yǎng)模式包括自檢

維護(hù):自動(dòng)的內(nèi)部維護(hù)程序,，檢查絕大多數(shù)部件的正常工作

PC, 顯示器 ：新型商用計(jì)算機(jī)，鼠標(biāo),，鍵盤,，, 以太網(wǎng)卡,Windows XP操作系統(tǒng)，使用TFT液晶顯示器

軟件： SENTECH 公司的 SE 400 橢偏儀軟件

預(yù)先定義的應(yīng)用模式：比如：

- 硅上的介質(zhì)膜

- 砷化鎵上的介質(zhì)膜

- 玻璃上的有機(jī)薄膜

- 硅上的自然氧化膜

- 砷化鎵上的自然氧化膜

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量 Recipe

單角度入射(40 度到 85 度間的固定角度)

多角度入射(40 度到 85 度間的角度, 步進(jìn)值 5°)

材料庫(kù)包含:

電介質(zhì), 弱吸收薄膜, 晶體和非晶半導(dǎo)體, 金屬, 有

機(jī)物,， 玻璃,，石英和其他