本機(jī)是針對(duì)傳感器,、精密電阻,、數(shù)據(jù)采集卡等需要高精度信號(hào)輸出的器件，專門開發(fā)的激光調(diào)阻設(shè)備,，具有調(diào)阻精度高,、刻線速度快、性能可靠,、自動(dòng)化程度高等特點(diǎn),。 

激光調(diào)阻機(jī)也叫做激光鐳射切割系統(tǒng)，其工作原理：利用一束極細(xì)的激光束打在電阻上,，通過對(duì)電阻體氣化蒸發(fā)實(shí)現(xiàn)電路的切割,。激光束按計(jì)算機(jī)預(yù)定的程序切割電阻，通過改變電阻的幾何形狀從而改變電阻的阻值,。隨著激光切割過程的進(jìn)行,，同時(shí)實(shí)時(shí)測(cè)量電路輸出、使其電阻的阻值不斷接近目標(biāo)阻值,，當(dāng)電阻達(dá)到目標(biāo)阻值后激光束關(guān)閉,，即實(shí)現(xiàn)激光調(diào)阻過程。 

1.精密激光調(diào)阻系統(tǒng)及修調(diào)技術(shù)原理 

   調(diào)阻是把一束聚焦的相干光在微機(jī)的控制下定位到工件上,，使工件待調(diào)部分的膜層氣化切除以達(dá)到規(guī)定參數(shù)或阻值。調(diào)阻時(shí)局部溫升使玻璃熔化,，氣化部分阻值槽邊緣受到玻璃覆蓋,，可填平基體表面被切割的介質(zhì)。
    *的激光修調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用了大量的LSI,、VLSI電路,，以大部分的軟件操作代替許多硬件功能,。核心部分是通過硬件直接與激光器、光束定位,、分步重復(fù)及測(cè)量等系統(tǒng)相連接,。測(cè)量系統(tǒng)由采用精密電橋和矩陣組合的無(wú)源網(wǎng)絡(luò)組成。 

    激光修調(diào)系統(tǒng)具有多種修調(diào)功能,，可以修調(diào)混合集成電路,、厚薄膜電阻器網(wǎng)絡(luò)、電容網(wǎng)絡(luò),、瓷基薄膜集成元件,，還可以修調(diào)D/A和A/D轉(zhuǎn)換器的精度，V/F轉(zhuǎn)換器的頻率,，有源濾波器的零點(diǎn)頻率及運(yùn)算放大器的失調(diào)電壓等,。同時(shí)還具有IEEE488接口，可與其他測(cè)試設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸,。
 ２．激光修調(diào)系統(tǒng)主要包括以下幾個(gè)部分： 
 （1）激光器部分
采用穩(wěn)定的進(jìn)口激光器,，厚膜修調(diào)小光斑達(dá)30μm，脈沖重復(fù)頻率為500Hz～100kHz,。
（2）光束定位系統(tǒng) 
分為線性馬達(dá)式,、開環(huán)和閉環(huán)檢流計(jì)式等?？刂乒馐赬和Y方向的位置,、速度和加速度?？s短光束定位時(shí)間和修調(diào)時(shí)間,，工作效率高。
（3）程控衰減系統(tǒng)
由多個(gè)衰減器組成,，以控制在衰減后用于光束游動(dòng)并進(jìn)入紅外相機(jī)的輸出信號(hào),。
（4）修調(diào)設(shè)定器
它直接與激光器、光束定位器,、分步重復(fù)臺(tái)及測(cè)量系統(tǒng)相聯(lián)接,。它可以通過程序改變Q頻率、刻蝕尺寸和改變切割的修調(diào)方向,，決定阻值變化,，而不影響精度。另外,，還具有自動(dòng)校正功能,，在長(zhǎng)期工作時(shí)可使修調(diào)設(shè)定值保持穩(wěn)定。
5）阻值及電壓測(cè)定裝置
采用精密電橋和矩陣組合的測(cè)試無(wú)源網(wǎng)絡(luò),，阻值測(cè)量精度可達(dá)0.01％,，測(cè)量時(shí)間小于5ms,。這種設(shè)計(jì)可以防止外界干擾，且由于采用差動(dòng)測(cè)量,，自動(dòng)消除偏離及極性轉(zhuǎn)換,，還可用來測(cè)定有源電路修調(diào)時(shí)的直流電壓。
（6）自動(dòng)功率測(cè)量系統(tǒng)
激光器功率測(cè)量是利用低限度的中斷通過測(cè)量來測(cè)定,。用微機(jī)控制螺形管驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),，激光束通過衰減器內(nèi)的100％反射鏡，射向熱電偶器件,，然后送到1個(gè)多量程功率計(jì),。
切割圖形
３．激光調(diào)阻時(shí)，被切割的電阻體圖形主要有以下幾種：
（1）單刀切割電阻法
（2）雙刀切割電阻法
（3）L型刀口切割電阻法
（4）交叉對(duì)切電阻法
（5）曲線型L刀口的切法
（6）曲線型U型刀口的切法
在實(shí)際工作中,，主要應(yīng)用的是前4種,，對(duì)于不同的電阻應(yīng)根據(jù)其方數(shù)的不同選擇不同的刀口。其中雙切和L型刀口為常用,，而且調(diào)過的阻值穩(wěn)定性好,。  

４．常用的調(diào)阻方法有噴砂、激光和電壓脈沖調(diào)整：
噴砂調(diào)阻：通過噴射砂流對(duì)電阻基片進(jìn)行打磨,，使電阻漿料層受磨損,，從而改變了電阻體的導(dǎo)電截面積和導(dǎo)電長(zhǎng)度，而達(dá)到一定要求的阻值,。是一種常規(guī)的調(diào)阻方案,。
噴砂調(diào)阻機(jī)設(shè)備價(jià)格較低，但調(diào)阻精度不易控制,，速度較慢,，不易于自動(dòng)化及批量生產(chǎn)。
激光調(diào)阻：通過短脈沖激光掃描切割電阻基片,，使電阻漿料層受激光加熱氣化,，形成一定深度的刻痕，從而改變了電阻體的導(dǎo)電截面積和導(dǎo)電長(zhǎng)度,，達(dá)到把低于目標(biāo)阻值的電阻體修調(diào)到阻值允許的偏差范圍內(nèi),，適用于片狀電阻的快速大規(guī)模生產(chǎn)。
激光調(diào)阻機(jī)價(jià)格較高,，精度易控制,，速度較快，且易于自動(dòng)化及批量生產(chǎn),，且能完成電路的功能調(diào)阻,，目前是調(diào)阻的主流工藝。 
激光精密加工在諸如薄膜電路的功能微調(diào),、壓電石英諧振腔和單層濾波器的微調(diào),、光掩膜的修正、具有分布參數(shù)的超高頻電路的微調(diào),、光學(xué)度盤和分劃板的刻制等工業(yè)領(lǐng)域?qū)⒌玫皆絹碓綇V泛的應(yīng)用,。 
激光調(diào)阻機(jī)根據(jù)市場(chǎng)要求，設(shè)計(jì)的BZL-SL12A系列機(jī)型,，可根據(jù)客戶電路要求定功能及客戶產(chǎn)品設(shè)制,。  

５.精密激光調(diào)阻系統(tǒng)調(diào)阻方案 

*的激光微調(diào)系統(tǒng)（激光調(diào)阻設(shè)備、激光調(diào)電阻設(shè)備）主要包括以下幾個(gè)部分： 
（1）激光器部分
采用進(jìn)口光纖激光器,，厚膜修調(diào)小光斑達(dá)38μm,，脈沖重復(fù)頻率為500Hz～100kHz。
（2）光束定位系統(tǒng) 
分為線性馬達(dá)式,、開環(huán)和閉環(huán)檢流計(jì)式等,。控制光束在X和Y方向的位置,、速度和加速度,。縮短光束定位時(shí)間和修調(diào)時(shí)間,，工作效率高,。
（3）程控衰減系統(tǒng)
由多個(gè)衰減器組成，以控制在衰減后用于光束游動(dòng)并進(jìn)入紅外相機(jī)的輸出信號(hào),。
（4）修調(diào)設(shè)定器
它直接與激光器,、光束定位器、分步重復(fù)臺(tái)及測(cè)量系統(tǒng)相聯(lián)接,。它可以通過程序改變Q頻率,、刻蝕尺寸和改變切割的修調(diào)方向，決定阻值變化,，而不影響精度,。另外，還具有自動(dòng)校正功能,，在長(zhǎng)期工作時(shí)可使修調(diào)設(shè)定值保持穩(wěn)定,。
5）阻值及電壓測(cè)定裝置
采用精密電橋和矩陣組合的測(cè)試無(wú)源網(wǎng)絡(luò)，阻值測(cè)量精度可達(dá)0.01％,，測(cè)量時(shí)間僅為25µs,。這種設(shè)計(jì)可以防止外界干擾，且由于采用差動(dòng)測(cè)量,，自動(dòng)消除偏離及極性轉(zhuǎn)換,，還可用來測(cè)定有源電路修調(diào)時(shí)的直流電壓。
（6）自動(dòng)功率測(cè)量系統(tǒng)
激光器功率測(cè)量是利用低限度的中斷通過測(cè)量來測(cè)定,。用微機(jī)控制螺形管驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),，激光束通過衰減器內(nèi)的100％反射鏡,，射向熱電偶器件，然后送到1個(gè)多量程功率計(jì),。
簡(jiǎn)易型調(diào)阻方案：
６．實(shí)現(xiàn)功能：通過手動(dòng)控制控針,，對(duì)電組進(jìn)行自動(dòng)精密調(diào)節(jié)
1、激光器及控制系統(tǒng)：進(jìn)口光纖激光器激光器
2,、光學(xué)定位系統(tǒng)：XY自動(dòng)控制
3,、阻值測(cè)量及控制系統(tǒng)
4、手動(dòng)控針
７．標(biāo)準(zhǔn)型調(diào)阻方案：
實(shí)現(xiàn)功能：通過自動(dòng)控制控針,，對(duì)批量電組進(jìn)行自動(dòng)精密調(diào)節(jié),。
1,、激光器及控制系統(tǒng)：進(jìn)口光纖激光器激光器
2,、光學(xué)定位系統(tǒng)：五維工作方式
3、阻值測(cè)量及控制系統(tǒng)
4,、自動(dòng)控針：自動(dòng)上,、下
5,、監(jiān)控系統(tǒng)：雙路300萬(wàn)像素CCD監(jiān)控
6．在線功能調(diào)阻方案： 

7.激光調(diào)阻機(jī)的種類 

目前調(diào)阻機(jī)按功能可分單純調(diào)阻及功能性調(diào)阻兩類：
單純調(diào)阻：
對(duì)電阻進(jìn)行調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)至某一固定阻值,，完成調(diào)阻,。這類設(shè)備比較簡(jiǎn)單。
功能性調(diào)阻：
對(duì)某一電路中的電阻進(jìn)行精密調(diào)節(jié),，使此電路模塊完成相應(yīng)的功能,。此類設(shè)備比較復(fù)雜，且設(shè)備與電路要求相適應(yīng)