目錄:深圳市達(dá)瑞博電子有限公司>>量測>>電子束量測>> S-9300臨界尺寸掃描電子顯微鏡
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 放大倍數(shù) | 1000 至 >300000x |
|---|---|---|---|
| 加速電壓 | 0.5-1.6kV | 價(jià)格區(qū)間 | 700萬-1500萬 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電氣,綜合 |
Hitachi S-9300 是一款 CD SEM（臨界尺寸掃描電子顯微鏡）
用于測量半導(dǎo)體工藝中的精細(xì)圖案尺寸.
以下是主要規(guī)格：
制造商： Hitachi
型號： S-9300
晶圓尺寸：200mm
電子光學(xué)系統(tǒng)：
電子槍：肖特基發(fā)射源
加速電壓：500V至1600V,，10V步進(jìn)
探頭電流：4~24pA，通過法拉第杯自動(dòng)設(shè)置和測量
電磁透鏡：帶升壓電壓的 3 級電磁透鏡系統(tǒng)
物鏡：4 個(gè)開口咔嗒停止,，加熱孔徑可在真空外選擇/調(diào)節(jié)
掃描線圈：2級電磁偏轉(zhuǎn)
散光校正：通過 8 極電磁線圈
放大倍率：1000 倍至 >300000 倍
現(xiàn)場控制方法：在所有電壓下連續(xù)開啟樣品放電
晶圓成像能力：8英寸（或12英寸）晶圓的整個(gè)表面
景深：80000倍放大倍率下>= 1.0um
分辨率：3nm （800V） 緩速/升壓模式
光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)：
圖像：單色,，使用CCD相機(jī)
放大倍率：110倍
晶圓成像：X 覆蓋范圍為 5 – 295mm，Y 覆蓋范圍為 5 – 195mm,，缺口向下
視場角：1.2mm
工作站型號： HP B180L （9GB）
操作系統(tǒng)：Unix 版本 HP-UX 10.20 或更高版本
軟件版本：14.71 或更高版本
它還配備了激光干涉儀平臺(tái),，可實(shí)現(xiàn)超高目標(biāo)尋址精度、迷你環(huán)境和兼容 FOUP 的負(fù)載端口.可以支持高級自動(dòng)化場景,，例如通過自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）進(jìn)行FOUP交付和單個(gè)晶圓識別.
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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