機臺名稱：真空等離子處理機
機臺型號：PM80L
整機規(guī)格：8層 920mm(W)×1030mm(D)×1720mm（H）
電極規(guī)格：8層平板式電極板（420mm×360mm）
電源系統(tǒng)：1KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可選13.56MHz）
控制系統(tǒng)：觸摸屏+PLC自動控制
進氣系統(tǒng)：2—5路工作氣體可選：Ar2,、N2,、H2、CF4,、O2

特 點：高精度,，快響應，良好的操控性和兼容性,，完善的功能和專業(yè)的技術支持
用 途：適用于攝像頭及行業(yè),，手機制造、半導體IC領域,，硅膠,、塑膠、聚合體領域,，汽車電子行業(yè),，航空工業(yè)等等。
?1,、攝像頭,、指紋識別行業(yè)：軟硬結合板金PAD表面去氧化；IR表面清洗,、清潔,。
2、半導體IC領域：COB,、COG,、COF,、ACF工藝，用于打線,、焊接前的清洗
3,、硅膠、塑膠,、聚合體領域：硅膠,、塑膠、聚合體的表面粗化,、刻蝕,、活化。

鋰電池隔膜基體材料主要包括聚丙烯,、聚乙烯材料和添加劑,。隔膜所采用的基體材料的優(yōu)劣在于電解液的浸潤性和吸液保濕能力直接的聯(lián)系，由于基體材料的本身特性,，浸潤性交差,，需用相應的工藝來提高其親水性，而低溫等離子體處理技術恰能極大的提高隔膜基體材料的浸潤性和電解液吸收能力,。