機(jī)臺(tái)名稱：真空等離子清洗機(jī)
機(jī)臺(tái)型號(hào)：PM120L
整機(jī)規(guī)格：PM120L: 1320(W)×1720(H)×1030(D)mm
電極規(guī)格：PM120L:  10層平板式電極板（470(W)×410(D)mm）可定制
電源系統(tǒng)：5KW等離子體發(fā)生源（40KHz,，可選13.56MHz）
控制系統(tǒng)：觸摸屏+PLC自動(dòng)控制
進(jìn)氣系統(tǒng)：2—5路工作氣體可選：Ar2,、N2、H2,、CF4,、O2

特 點(diǎn)：高精度，快響應(yīng),，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持

 芯片與封裝基板的粘接,，往往是兩種不同性質(zhì)的材料,，材料表面通常呈現(xiàn)為疏水性和惰性特征，其表面粘接性能較差,，粘接過程中界面容易產(chǎn)生空隙，給密封封裝后的芯片帶來很大的隱患,，對(duì)芯片與封裝基板的表面進(jìn)行等離子體處理能有效增加其表面活性,，極大的改善粘接環(huán)氧樹脂在其表面的流動(dòng)性，提高芯片和封裝基板的粘結(jié)浸潤(rùn)性,，減少芯片與基板的分層，改善熱傳導(dǎo)能力,，提高IC封裝的可靠性,、穩(wěn)定性，增加產(chǎn)品的壽命,。