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詳細(xì)介紹
CVD管式爐集真空管式爐,，多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成，可根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)（有雙溫區(qū),、三溫區(qū),、多溫區(qū)），可預(yù)抽真空（有高真空,、低真空）,，通多種氣氛（供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器）。性能可靠,?？刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù)，具有控溫精度高,，溫沖幅度小,，性能可靠，簡(jiǎn)單易操作等特點(diǎn),。
CVD管式爐廣泛適用于高,、中、低溫CVD工藝,，例如：碳納米管的研制,、晶體硅基板鍍膜,、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長等等；也可適用于金屬材料的擴(kuò)展焊接以及真空或保護(hù)氣氛下熱處理,。CVD管式爐具有以下優(yōu)勢(shì)：
1,、CVD管式爐采用高純石英管或剛玉管作為內(nèi)爐膛。
2,、CVD管式爐溫控系統(tǒng)采用進(jìn)口多段智能程序溫度控制儀控制,，溫度控制具有良好的穩(wěn)定性、重復(fù)性,。
3,、可拆卸式的三面密封方式，具有良好的潔凈度和真空度,；
4,、耐火，保溫材料全部采用良好的輕質(zhì)纖維制品,，整機(jī)質(zhì)量輕,、能耗低；
5,、CVD管式爐加熱元件采用U型硅鋁（碳）棒或*電阻絲。
CVD管式爐功能以及特點(diǎn)說明：
1,、CVD管式爐內(nèi)置兩個(gè)溫區(qū),，可以營造300℃內(nèi)不同的溫度梯度；
2,、雙溫區(qū)控制系統(tǒng)采用PID方式控制,，控溫儀表中可以設(shè)置30段升降溫程序，每個(gè)溫區(qū)可以單獨(dú)控溫,；
3,、采用KF快速法蘭密封，只需要一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,，放,、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能,；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能,；
4、CVD管式爐爐蓋可打開,，可以實(shí)時(shí)觀察燒結(jié)的物料狀況,，并能迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)需要,；
5,、CVD管式爐爐膛采用進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料,，保溫性能好，耐用,，拉伸強(qiáng)度高,，無雜球，純度高,，節(jié)能效果明顯優(yōu)于國內(nèi)纖維材料,；
6、加熱元件采用內(nèi)嵌式高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,，經(jīng)久耐用,，zui高溫度可達(dá)1200℃。
7,、預(yù)留了真空,、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng),、混氣系統(tǒng)使用,；
8、CVD管式爐預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口,，可通過我司軟件,，與計(jì)算機(jī)互聯(lián)，可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制,、實(shí)時(shí)追蹤,、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能,；可安裝無紙記錄裝置,，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、輸出,。
9,、CVD管式爐上蓋開啟自動(dòng)斷電，超溫報(bào)警并斷電,，漏電保護(hù),，操作安全可靠。
CVD管式爐使用中的注意要點(diǎn)說明：
1,、冷爐使用時(shí),，由于管式爐膛是冷的，須大量吸熱,，所以低溫段升溫速率不易過快,，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì),，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象,，污染爐管,。
2、定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好,，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固,。
3、CVD管式爐*使用或長時(shí)間不用后,，要在120℃左右烘烤1小時(shí),，在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開裂,。爐溫盡量不要超過額定溫度,，以免損壞加熱元件 及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬,，保持爐內(nèi)的清潔,。
4、爐膛若采用石英管,，當(dāng)溫度高于1000℃時(shí),，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷,，屬正?，F(xiàn)象。