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詳細(xì)介紹
CVD管式爐由開啟式管式爐,、高真空分子泵系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)及多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)組成,，是實(shí)驗(yàn)室生長(zhǎng)薄膜石墨烯,，金屬薄膜,，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等的理想選擇,。其原理在于在真空壓力下,，加在電感線圈的射頻電場(chǎng)，使反應(yīng)室氣體發(fā)生輝光放電,，在輝光發(fā)電區(qū)域產(chǎn)生大量的電子,，這些電子在電場(chǎng)的作用下獲得充足的能量，其本身溫度很高,，它與氣體分子相碰撞,，使氣體分子活化。它們吸附在襯底上,，并發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成介質(zhì)膜,，副產(chǎn)物從襯底上解吸，隨主氣流由真空泵抽走,，稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉(PECVD),。CVD管式爐用于高校、科研院所,、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原,、CVD實(shí)驗(yàn),、真空退火等。
主要功能和特點(diǎn)：
1,、內(nèi)置兩個(gè)溫區(qū),，可以營(yíng)造300℃內(nèi)不同的溫度梯度；
2,、雙溫區(qū)控制系統(tǒng)采用PID方式控制,，控溫儀表中可以設(shè)置30段升降溫程序，每個(gè)溫區(qū)可以單獨(dú)控溫,；
3,、采用KF快速法蘭密封，只需要一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,，放,、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能,；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能,；
4、爐蓋可打開,，可以實(shí)時(shí)觀察燒結(jié)的物料狀況,，并能迅速降溫,，滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)需要；
5,、爐膛采用進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料,，保溫性能好，耐用,，拉伸強(qiáng)度高,，無雜球，純度高,，節(jié)能效果明顯優(yōu)于國(guó)內(nèi)纖維材料,；
6、加熱元件采用內(nèi)嵌式高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,，經(jīng)久耐用,，zui高溫度可達(dá)1200℃。
7,、預(yù)留了真空,、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng),、混氣系統(tǒng)使用,；
8、預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口,，可通過我司軟件,，與計(jì)算機(jī)互聯(lián)，可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制,、實(shí)時(shí)追蹤,、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能,；可安裝無紙記錄裝置,，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、輸出,。
9,、上蓋開啟自動(dòng)斷電，超溫報(bào)警并斷電,，漏電保護(hù),，操作安全可靠。
