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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
CVD-1200系統(tǒng)由滑動式開啟式真空管式爐,，混氣系統(tǒng),，真空及壓力系統(tǒng)等組成。CVD-1200系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達1200℃,，通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫；配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度,；同時通過三路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體,。 | |
技術參數(shù)： | |
爐體結(jié)構(gòu) | 雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫,； 日本技術真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,，保溫性能好 爐子底部裝有一對滑軌，移動平穩(wěn) 爐子可以手動從一端滑向另一端,，實現(xiàn)快速的加熱和冷卻 支撐兩端安裝油壓緩沖器 爐蓋可開啟,，可以實時觀察加熱的物料 |
電源 | 電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW |
爐管 | 高純石英管,，高溫下化學穩(wěn)定性強,，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小 尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭,，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空 一個卡箍就能完成法蘭的連接,，放、取物料方便快捷 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,，平衡爐管的受力支撐 包含進氣,、出氣、真空抽口針閥,，KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,，表面負荷高、經(jīng)久耐用 加熱區(qū)長度：440mm 恒溫區(qū)長度：200mm 工作溫度：≤1150℃ zui高溫度：1200℃ 升溫速率：10℃/min |
溫控系統(tǒng) | 溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術,，具有PID調(diào)節(jié),、自整定功能30段升降溫程序 測溫元件：N型熱電偶 恒溫精度：±1℃ |
混氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制 內(nèi)置不銹鋼混氣箱,，每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管,，接口為Φ6卡套 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量 流量規(guī)格：0~1SLM 流量精度：±1.5% |
真空系統(tǒng) | 采用雙極旋片真空泵，真空度可達5x10-1 Torr 數(shù)顯式真空壓力表 可選高真空系統(tǒng)及真空計,，壓力控制系統(tǒng)等 |
可選配件 | 混氣系統(tǒng),中,、高真空系統(tǒng),，各種剛玉、石英坩堝,，石英管,，計算機控制軟件，無紙記錄儀,，氧含量分析儀,。 |