日韩av大片在线观看欧美成人不卡|午夜先锋看片|中国女人18毛片水多|免费xx高潮喷水|国产大片美女av|丰满老熟妇好大bbbbbbbbbbb|人妻上司四区|japanese人妻少妇乱中文|少妇做爰喷水高潮受不了|美女人妻被颜射的视频,亚洲国产精品久久艾草一,俄罗斯6一一11萝裸体自慰,午夜三级理论在线观看无码

PLD激光脈沖沉積技術(shù)

NPD-4000（A）全自動PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)機(jī)制：

PLD的系統(tǒng)設(shè)備簡單,，相反,，它的原理卻是非常復(fù)雜的物理現(xiàn)象。它涉及高能量脈沖輻射沖擊固體靶時,，激光與物質(zhì)之間的所有物理相互作用,，亦包括等離子羽狀物的形成，其后已熔化的物質(zhì)通過等離子羽狀物到達(dá)已加熱的基片表面的轉(zhuǎn)移,，及zui后的膜生成過程,。所以，PLD一般可以分為以下四個階段：

1. 激光輻射與靶的相互作用

2. 熔化物質(zhì)的動態(tài)

3. 熔化物質(zhì)在基片的沉積

4. 薄膜在基片表面的成核（nucleation）與生成

在*階段,，激光束聚焦在靶的表面。達(dá)到足夠的高能量通量與短脈沖寬度時,，靶表面的一切元素會快速受熱,，到達(dá)蒸發(fā)溫度。物質(zhì)會從靶中分離出來,，而蒸發(fā)出來的物質(zhì)的成分與靶的化學(xué)計(jì)量相同,。物質(zhì)的瞬時溶化率大大取決於激光照射到靶上的流量。熔化機(jī)制涉及許多復(fù)雜的物理現(xiàn)象,，例如碰撞,、熱，與電子的激發(fā),、層離,，以及流體力學(xué)。

在第二階段,，根據(jù)氣體動力學(xué)定律,，發(fā)射出來的物質(zhì)有移向基片的傾向，并出現(xiàn)向前散射峰化現(xiàn)象,?？臻g厚度隨函數(shù)cosnθ而變化，而n>>1,。激光光斑的面積與等離子的溫度,，對沉積膜是否均勻有重要的影響。靶與基片的距離是另一個因素,，支配熔化物質(zhì)的角度范圍。亦發(fā)現(xiàn)，將一塊障板放近基片會縮小角度范圍,。

第三階段是決定薄膜質(zhì)量的關(guān)鍵,。放射出的高能核素碰擊基片表面，可能對基片造成各種破壞,。下圖表明了相互作用的機(jī)制,。高能核素濺射表面的部分原子，而在入射流與受濺射原子之間,，建立了一個碰撞區(qū),。膜在這個熱能區(qū)（碰撞區(qū)）形成后立即生成，這個區(qū)域正好成為凝結(jié)粒子的*場所,。只要凝結(jié)率比受濺射粒子的釋放率高,，熱平衡狀況便能夠快速達(dá)到，由於熔化粒子流減弱,，膜便能在基片表面生成,。

NPD-4000（A）全自動PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)概述：該系統(tǒng)為PC計(jì)算機(jī)全自動控制的立柜式系統(tǒng)，具有占地面積小,、性價比高的優(yōu)點(diǎn),。占地面積尺寸為26"x42"x44"。不銹鋼立柜,，帶Auto Load/Unload自動上下載片功能,，帶預(yù)真空鎖。

主要優(yōu)點(diǎn)：

1. 易獲得期望化學(xué)計(jì)量比的多組分薄膜,，即具有良好的保成分性,；

2. 沉積速率高，試驗(yàn)周期短,，襯底溫度要求低,，制備的薄膜均勻；

3. 工藝參數(shù)任意調(diào)節(jié),，對靶材的種類沒有限制,；

4. 發(fā)展?jié)摿薮螅哂袠O大的兼容性,；

5. 便于清潔處理,，可以制備多種薄膜材料。