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熱蒸發(fā)鍍膜

NTE-3500（A）全自動熱蒸發(fā)系統(tǒng)概述：NANO-MASTER NTE-3000是一款PC計算機控制的臺式熱蒸發(fā)系統(tǒng),，在有機物和金屬沉積方面具有廣泛的應用。設備的設計經(jīng)過非常慎重的考慮:在小的占地面積情況下實現(xiàn)干凈,、均勻,、可控及可重復的工藝過程。它們具有低價格, 高性能以及高能力的特點，可滿足于客戶研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)的應用要求,。 NTE-3000熱蒸發(fā)系統(tǒng)可以在設定的RMS電流下,，或者在閉環(huán)的配置下操作，并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調(diào)節(jié)RMS電流以維持恒定的沉積速度,。

NTE-3500蒸發(fā)系統(tǒng)是一個緊湊型系統(tǒng),，跟我們的濺射系統(tǒng)共享一個共同的平臺；比如：櫥柜,，腔體,，真空系統(tǒng)，計算機控制架構等方面都是一樣的,。*的區(qū)別是一個使用磁控管,，另一個使用加熱坩堝. 因此，在我們?yōu)R射系統(tǒng)上的許多技術同樣適用到我們的熱蒸發(fā)系統(tǒng)中,，比如：樣品臺的加熱,，旋轉，偏斜,；涂覆前的等離子清洗,，膜厚監(jiān)測，序列或同時操作多源,；鐘罩,、鋁或不銹鋼腔體；預真空鎖以及自動裝片/取片系統(tǒng)等,。

NTE-3500跟NSC-3500很像, 除了樣片臺是在頂部并且樣片是面朝下固定,。因為有許多的共同點，我們可以提供NTS系列的系統(tǒng)(NTS-3000, NTS-3500,，NTS-4000),，具有濺射和蒸發(fā)兩種能力。通過計算機控制系統(tǒng),，我們可以在同一套系統(tǒng)上提供濺射和蒸發(fā)能力,，這樣可以充分利用濺射和蒸發(fā)技術，而無須中斷真空,。

Nano-Master的蒸發(fā)系統(tǒng)的另一大*優(yōu)勢是持續(xù)性地控制加熱器電流,，而不是震蕩式控制加熱器。系統(tǒng)裝配固態(tài)電流控制電路,，這點跟許多系統(tǒng)采用的自藕變壓器不同,。在該系統(tǒng)中，電流或者RMS值的持續(xù)時間被控制,。用戶可以選擇一個設定值,，它實際上是設定交流電半周期的部分,，會出現(xiàn)跟鎢加熱器電線的交叉。這樣,，系統(tǒng)可以實現(xiàn)精確快速的電流控制,，這使得閉環(huán)溫度控制就可以實現(xiàn)。此外,，電流控制以及溫度控制,，可以滿足蒸發(fā)的苛刻要求，無論是對有機材料還是對金屬,。我們測量坩堝TB的RMS電壓,，RMS電流，和溫度,，并通過熱電偶TC跟坩堝底部接觸的方式測量溫度,。空坩堝的加熱實驗結果如下圖所示,，這些加熱實驗結果是在208V線電壓下進行的,。電流和電壓(沒有顯示)通過RMS儀表測量。

通過以上的溫度與電流的關系,，我們可以設定并控制電流以達到坩堝內(nèi)想要的溫度,，溫度可以通過熱電偶來測量。材料防止在坩堝中熱損失和加熱時間的常量將會發(fā)生變化,，然而坩堝內(nèi)的溫度和熱電偶的測量值之間的關系將不會變化,。因此,，我們的技術可以實現(xiàn)坩堝內(nèi)的溫度不依賴于大部分放入的材料,，甚至不受線電壓值的影響。

NTE-3500（A）全自動熱蒸發(fā)系統(tǒng)產(chǎn)品特點：

• zui大可支持6"(150mm)的晶圓片
• 自動上下載片,，帶預真空鎖
• 沉積速度可控
• 旋轉的樣品臺
• 雙坩堝
• 2KVA SRC控制電源
• 晶振式膜厚監(jiān)控儀
• 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機控制

相似產(chǎn)品型號：

• NTE-4000  基于PC計算機全自動控制的獨立系統(tǒng)
• NTE-3500  基于PC計算機全自動控制的緊湊型獨立系統(tǒng)
• NTE-3000  基于PC計算機全自動控制的雙蒸發(fā)源臺式系統(tǒng)
• NTE-1000  計算機控制的單蒸發(fā)源臺式系統(tǒng)