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NANO-MASTER產(chǎn)品介紹

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NANO-MASTER產(chǎn)品應(yīng)用于LED,、微機電系統(tǒng),、光電子學(xué)、納米技術(shù),、太陽能電池,、半導(dǎo)體和空間模擬等。主要產(chǎn)品有用于SiO2/Si3N4/DLC/CNT/石墨烯等沉積的PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積,，濺射系統(tǒng)（RF/DC/反應(yīng)濺/共濺/組合濺）,，熱蒸鍍和E-Beam蒸鍍，ALD原子層沉積,，用于InGaN/AlGaN等氮化物沉積的PA-MOCVD,，IBE/RIE/ICP/DRIE刻蝕系統(tǒng)，兆聲波無損濕法清洗/去膠/剝離/刻蝕系統(tǒng),，熱真空系統(tǒng),。

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