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日前,，由清華大學完成的“高測速多軸高分辨力激光干涉測量技術與儀器”項目獲得2018年度中國計量測試學會科學技術進步一等獎。
　　計量是科學技術的基礎,，是人類認識世界的工具,，人類歷*的3次技術革命都和計量測試技術的突破息息相關，計量測試科技成果對推動其他科學技術的進步與發(fā)展具有重要的促進和作用,。激光干涉測量是實現(xiàn)超精密測控和微納尺度測量的有效手段,，是保障可溯源納米測量的重要途徑，也是邁向計量強國,、制造強國*的關鍵計量測試技術,。
　　項目團隊針對光刻機工件臺超精密定位、基礎計量測量和儀器應用中對激光干涉儀高動態(tài),、高分辨力,、跨尺度和可溯源等測量需求，深入開展測量原理,、方法和測量系統(tǒng)儀器化中的共性科學技術問題研究,，突破集成多軸干涉、信號解調和折射率補償?shù)汝P鍵技術,，形成全套自主的高性能激光干涉測量系統(tǒng),；提出系列可溯源至長度或頻率基準的激光干涉測量方法,，實現(xiàn)不確定度為皮、納米量級的高精度測量,；形成了系列知識產品成果,，研究成果支撐了我國自主研發(fā)光刻機的高精度定位，激光測振儀的信號解調等應用,，并入選國家“十二五”科技創(chuàng)新成就展,。
　　項目實現(xiàn)了從干涉儀組件、信號探測解調到多自由度探測方案設計的全鏈條自研開發(fā)的高測速,、多軸大量程,、高分辨力激光干涉測量系統(tǒng)，提出了光頻可溯源系列化激光干涉精密測長方法,。截至目前,，項目獲授權發(fā)明專li20余項，發(fā)表SCI收錄論文30余篇,。
　　此外,，項目團隊所研發(fā)的光刻機用雙頻激光干涉儀系統(tǒng)，成功應用到我國自研光刻機工件臺樣機研發(fā)過程中,，累計應用50余臺套,，很好的滿足了光刻機雙工件臺樣機的精密測量需求，支撐了光刻機用雙頻激光干涉儀能力的形成,，減輕了對國外干涉儀的依賴,，為我國裝備和儀器研發(fā)提供了性能優(yōu)良且不受制于人的測量及溯源能力。
　　“中國計量測試學會科學技術進步獎”是在國家科學技術獎勵辦公室登記備案的省部級科技進步獎,。其中申報一等獎的項目要求整體技術已正式應用三年以上并取得較大的經濟效益或社會效益。目前產品已成功應用到航空航天,、汽車制造,、機床檢測等多個領域，成為提升中國制造產品質量的有力支撐工具,。