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電子束蒸鍍系統(tǒng)為一種物理氣相沉積（PVD）技術，其中電子束是由鎢絲所產(chǎn)生的,，並受到電場和磁場的驅(qū)動而朝向蒸發(fā)材料，並將其材料由固態(tài)轉化為氣態(tài)以沉積在基板表面上,。且該過程需在高真空環(huán)境中,，以通過自由路徑的方式在基板表面上形成薄膜。

電子束蒸鍍比熱蒸發(fā)更具有優(yōu)勢,。它能夠在非常高的溫度下熔化材料,，如鎢、石墨...等等,。結合石英震盪片的反饋信號,，可輕鬆控制蒸發(fā)速率，以調(diào)節(jié)電子束電流並蒸發(fā)更多材料而不會破壞真空,。因此,，電子束蒸發(fā)用於薄膜製程領域，包括半導體,、光學,、太陽能電池板、玻璃和建築玻璃,，因此它們具有所需的導電,，反射，透射和電子等特性,。