spin coater勻膠機
勻膠機有很多種稱謂,，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機,、勻膠臺,、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機,、旋轉(zhuǎn)涂層機,、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機,、旋轉(zhuǎn)涂覆儀,、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機，總的來說,，他們原理都是一樣的,，既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液,，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關,。
勻膠機適用于半導體,、硅片、晶片,、基片,、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè)、科研,、教育等單位作生產(chǎn),、科研、教學之用,。勻膠機可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用,。
由我司提供的勻膠機,在高校、研究所及半導體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽,相信能滿足您多種不同應用要求,。
產(chǎn)地：韓國MIDAS公司,，
型號：SPIN-1200
勻膠機通用參數(shù):
旋轉(zhuǎn)襯底最大尺寸：4"、6",、8",、12"、550mm,；
按客戶需求提供整體解決方案，可以旋涂最小3mm,， 最大1000mm襯底,；
從手動到全自動溶質(zhì)分配的選擇范圍寬大；
無振動轉(zhuǎn)速最高8000rpm,；
真空吸附,，無污染；
臺式勻膠機,占用空間??；
具備耐化學性的無縫聚丙烯外罩，并且勻膠機主機易清洗,；
聚四氟乙烯（PTFE）的勻膠機可用于強腐蝕性化學材料,；
便于程序操作的全尺寸鍵盤，甚至帶著手套都可以方便使用；
可以準確重復運行程序的數(shù)字程序控制系統(tǒng),；
高度靈活的多重可編程步驟組成復合程序,。
spin coater勻膠機應用范圍：
可用于光刻膠(PR)，聚酰亞胺(Polyimide),，金屬有機物(Metallo-organics),，攙雜劑(Dopant)，硅薄膜(Silica Film),，以及大多數(shù)的有機溶液,、水溶液；
全自動的勻膠及顯影工藝必需的全自動Chip生產(chǎn)設備：
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