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spin coater勻膠機(jī)

勻膠機(jī)有很多種稱謂,，英文叫Spin Coater或者Spin Processor,，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái),、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī),、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī),、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī),、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀,、旋轉(zhuǎn)涂膜儀,、勻膜機(jī)，總的來(lái)說(shuō),，他們?cè)矶际且粯拥?，既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類(lèi)膠液,，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān),。
勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體,、硅片、晶片,、基片,、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè)、科研,、教育等單位作生產(chǎn),、科研,、教學(xué)之用。勻膠機(jī)可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用,。
由我司提供的勻膠機(jī),在高校,、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽(yù),相信能滿足您多種不同應(yīng)用要求。
產(chǎn)地：韓國(guó)MIDAS公司,，
型號(hào)：SPIN-1200


勻膠機(jī)通用參數(shù):
旋轉(zhuǎn)襯底最大尺寸：4",、6"、8",、12",、550mm；
按客戶需求提供整體解決方案,，可以旋涂最小3mm,， 最大1000mm襯底；
從手動(dòng)到全自動(dòng)溶質(zhì)分配的選擇范圍寬大,；
無(wú)振動(dòng)轉(zhuǎn)速最高8000rpm,；
真空吸附，無(wú)污染,；
臺(tái)式勻膠機(jī),占用空間?。?/span>
具備耐化學(xué)性的無(wú)縫聚丙烯外罩,，并且勻膠機(jī)主機(jī)易清洗,；
聚四氟乙烯（PTFE）的勻膠機(jī)可用于強(qiáng)腐蝕性化學(xué)材料；
便于程序操作的全尺寸鍵盤(pán),，甚至帶著手套都可以方便使用,；
可以準(zhǔn)確重復(fù)運(yùn)行程序的數(shù)字程序控制系統(tǒng)；
高度靈活的多重可編程步驟組成復(fù)合程序,。


spin coater勻膠機(jī)應(yīng)用范圍：
可用于光刻膠(PR),，聚酰亞胺(Polyimide)，金屬有機(jī)物(Metallo-organics),，攙雜劑(Dopant),，硅薄膜(Silica Film)，以及大多數(shù)的有機(jī)溶液,、水溶液,；

全自動(dòng)的勻膠及顯影工藝必需的全自動(dòng)Chip生產(chǎn)設(shè)備：