勻膠機，旋涂儀
儀器簡介：
MIDAS為勻膠機(又稱為旋涂儀,、甩膠機,、Spin Coater等)國際品牌，目前全球用戶超過1800臺,，在高校,、研究所及半導體產業(yè)享有很高的聲譽，高性價比,。
勻膠機有許多名稱：甩膠機,、涂膠機、涂層機,、旋轉涂膠機,、旋轉涂膜機、旋轉涂層機,、旋轉涂布機,、旋轉薄膜機、旋轉涂膜儀等, 主要應用于溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作,。其工作原理是高速旋轉基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上, 厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同, 也和旋轉速度及時間有關,。
勻膠機適用于半導體、硅片,、晶片,、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè),、科研,、教育等單位作生產、科研,、教學之用,。
馬達的皮實耐用性能及高速旋轉時轉速的穩(wěn)定性和均勻性是進口設備和國產設備的區(qū)別！,！
此型號勻膠機在國內高校研究單位被廣泛使用,，是進口設備中性能價格比最高的型號,，到貨期短（一般2周到貨），使用簡單（用戶均可自行安裝操作）,，維修快捷,，3年內正常使用不會出問題。
勻膠機,，旋涂儀
技術參數：
時間 Time : 1~999秒,，可調節(jié)
基底尺寸 Substrate Size: ~ 4英寸/~6英寸/~8英寸可選擇
卡盤旋轉速度 Chuck Rotation Speed : 300~8000 rpm，直流伺服馬達/交流伺服馬達
勻膠狀態(tài) Spin State: 50步,，20個方案控制(數字程序編輯)
面板數字式編程,，液晶顯示，操作方便
碗腔尺寸 Bowl Size: 8英寸,，鋁(經陽極氧化工藝)/12英寸,，SUS
增/減速率 Accele/deceleration Rates: 可調節(jié)
真空卡盤 Vacuum Chuck : 鋁(陽極氧化)，乙縮醛(Acetal)
電源 Electrical Power : 220V, 5A
自帶無油真空泵 Oilless Vacuum Pump: - 650 mmHg
尺寸(mm) Dimension: 230 X 340 X 260 / 390 X 570 X 280
主要特點：
1） 桌上型勻膠機,，涂膜厚度范圍：100nm~100um,；
2） 可用于光刻膠(PR)，聚酰亞胺(Polyimide),，金屬有機物(Metallo-organics),，攙雜劑(Dopant)，硅薄膜(Silica Film),，以及大多數的有機溶液,、水溶液；
3） 緊湊型設計,，用戶編輯,、控制、存儲,、取出涂膠程序,，易于操作；
4） 加速及減速速率基于設定的時間/轉速(Ramp Time/RPM value)自動計算,；
5） 用戶通過勻膠機前面板顯示屏和按鈕進行編輯,、控制、存儲,、取出涂膠程序,，并進行實驗操作。
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