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勻膠機,,旋涂儀
儀器簡介:
MIDAS為勻膠機(又稱為旋涂儀,、甩膠機、Spin Coater等)國際品牌,,目前全球用戶超過1800臺,,在高校、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽,,高性價比。
勻膠機有許多名稱:甩膠機,、涂膠機,、涂層機、旋轉(zhuǎn)涂膠機,、旋轉(zhuǎn)涂膜機,、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機,、旋轉(zhuǎn)薄膜機,、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等, 主要應(yīng)用于溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作。其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上, 厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同, 也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān),。
勻膠機適用于半導(dǎo)體,、硅片、晶片,、基片,、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè)、科研,、教育等單位作生產(chǎn),、科研、教學(xué)之用,。
馬達(dá)的皮實耐用性能及高速旋轉(zhuǎn)時轉(zhuǎn)速的穩(wěn)定性和均勻性是進(jìn)口設(shè)備和國產(chǎn)設(shè)備的區(qū)別?。?br/> 此型號勻膠機在國內(nèi)高校研究單位被廣泛使用,,是進(jìn)口設(shè)備中性能價格比最高的型號,,到貨期短(一般2周到貨),,使用簡單(用戶均可自行安裝操作),維修快捷,,3年內(nèi)正常使用不會出問題,。
勻膠機,旋涂儀
技術(shù)參數(shù):
時間 Time : 1~999秒,,可調(diào)節(jié)
基底尺寸 Substrate Size: ~ 4英寸/~6英寸/~8英寸可選擇
卡盤旋轉(zhuǎn)速度 Chuck Rotation Speed : 300~8000 rpm,,直流伺服馬達(dá)/交流伺服馬達(dá)
勻膠狀態(tài) Spin State: 50步,20個方案控制(數(shù)字程序編輯)
面板數(shù)字式編程,,液晶顯示,,操作方便
碗腔尺寸 Bowl Size: 8英寸,鋁(經(jīng)陽極氧化工藝)/12英寸,,SUS
增/減速率 Accele/deceleration Rates: 可調(diào)節(jié)
真空卡盤 Vacuum Chuck : 鋁(陽極氧化),,乙縮醛(Acetal)
電源 Electrical Power : 220V, 5A
自帶無油真空泵 Oilless Vacuum Pump: - 650 mmHg
尺寸(mm) Dimension: 230 X 340 X 260 / 390 X 570 X 280
主要特點:
1) 桌上型勻膠機,涂膜厚度范圍:100nm~100um,;
2) 可用于光刻膠(PR),,聚酰亞胺(Polyimide),金屬有機物(Metallo-organics),,攙雜劑(Dopant),,硅薄膜(Silica Film),以及大多數(shù)的有機溶液,、水溶液,;
3) 緊湊型設(shè)計,用戶編輯,、控制,、存儲、取出涂膠程序,,易于操作,;
4) 加速及減速速率基于設(shè)定的時間/轉(zhuǎn)速(Ramp Time/RPM value)自動計算;
5) 用戶通過勻膠機前面板顯示屏和按鈕進(jìn)行編輯,、控制,、存儲、取出涂膠程序,,并進(jìn)行實驗操作,。
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