日韩av大片在线观看欧美成人不卡|午夜先锋看片|中国女人18毛片水多|免费xx高潮喷水|国产大片美女av|丰满老熟妇好大bbbbbbbbbbb|人妻上司四区|japanese人妻少妇乱中文|少妇做爰喷水高潮受不了|美女人妻被颜射的视频,亚洲国产精品久久艾草一,俄罗斯6一一11萝裸体自慰,午夜三级理论在线观看无码

等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)采用*大的腔室和等離子ALD模塊,獲得**的原子層沉積效果,。
等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)特點
腔室圓柱形和工程設(shè)計的流型均勻性,。
適用于多種不同的基板和沉積材料。
出于安全目的,，在分離的區(qū)域進行前體,、泵送,、捕集和控制。
用戶友*且易于訪問所有組件
等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
不銹鋼腔室
具有4-8條不同前體（冷和熱）管線的前體進料系統(tǒng)
配備快速氣動閥的前體進料系統(tǒng),。
多段溫度控制：前體,、加熱夾套，范圍0-200oC,，分辨率1oC腔室,，范圍0-300oC，分辨率1oC–腔室的管道入口和出口,，范圍0-150oC,，分辨率1oC。
基本壓力為10-1/10-3毫巴,。
工具尺寸,，1000x600x1000mm,。
帶觸摸屏的控制系統(tǒng)：
系統(tǒng)狀態(tài)信息：氣體流量,、溫度、壓力和閥門,。
過程監(jiān)控：壓力和溫度,。偏差警報和安全鎖。
配方處理和實時監(jiān)控,。
自動蓋和人體工程學設(shè)計,。視覺和聲音警報。