島津企業(yè)管理(中國)有限公司
類金剛石(DLC)膜及其表面缺陷的島津電子探針分析
檢測樣品:類金剛石(diamond-likecarbon,,DLC)膜
檢測項(xiàng)目:缺陷分析
方案概述:使用島津電子探針顯微分析儀EPMA-1720對(duì)某類DLC (diamond-like carbon,,類金剛石)膜的表面缺陷進(jìn)行了觀察,、元素測試及元素面分布特征分析。確認(rèn)了缺陷中元素的種類和含量,、元素在缺陷位置的分布特點(diǎn),,討論了表面上尺寸大小不等的微觀點(diǎn)狀缺陷可能會(huì)帶來的工程材料失效問題。
類金剛石( diamond-like carbon,,DLC)膜是一種非晶碳膜,,最早在1971年由離子沉積技術(shù)得到。它是一種由sp3鍵的金剛石和sp2鍵組成的碳膜,,具有與金剛石相似的優(yōu)良的力學(xué)性能,,因此被命名為類金剛石膜。DLC膜具有硬度高,、摩擦系數(shù)低,、耐磨性能良好、抗腐蝕性能良好,、熱膨脹系數(shù)小等優(yōu)異的物理化學(xué)性能,,具有廣闊應(yīng)用的前景,在機(jī)械設(shè)備,、海洋工程,、汽車零部件、電子和光學(xué)元件、生物醫(yī)用設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域中都有廣泛應(yīng)用,。
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