產(chǎn)品簡介：
         NanoMap-500LS接觸式臺階儀/三維表面輪廓儀是傳統(tǒng)接觸式表面輪廓儀和掃描探針顯微鏡（SPM） 的*結(jié)合,，它利用掃描探針顯微鏡光杠桿位移檢測技術(shù)和超平整參照面-大型樣品臺掃描技術(shù),，并與壓電陶瓷（PZT）掃描*結(jié)合，可在不損失精度的情況下,，即得到超大樣品整體三維輪廓圖,，又可呈現(xiàn)局部的三維形貌。其中樣品臺掃描參考平面使用超高平坦度光學拋光平臺,，這樣可以有效解決樣品臺掃描面由于絲杠公差引起的亞微米量級測量誤差,。
產(chǎn)品特性：                                                                                                  產(chǎn)品應用：   
        雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描）                                                     薄膜厚度測量
        可生成二維和三維圖像                                                                                 臺階高度測量
        nm到1m的Z軸范圍                                                                                      表面粗糙度測量
        XY掃描范圍達到150x150mm                                                                     二維薄膜應力測量
        簡單的2步關(guān)鍵操作，用戶友好的軟件界面                                              平坦度或曲率測量
        集成彩色光學相機,，在掃描過程中可直接觀察樣品                                表面輪廓（缺陷,、形貌等）呈現(xiàn)