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MBE 分子束外延系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 巨力科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) MBE
  • 產(chǎn)地 進(jìn)口
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間 2017/12/17 17:02:38
  • 訪問(wèn)次數(shù) 1558

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巨力科技有限公司專(zhuān)門(mén)經(jīng)銷(xiāo)歐美,、日本等國(guó)家制造的*科學(xué)儀器,,為客戶(hù)提供完備的售前咨詢(xún)和售后服務(wù)、技術(shù)支持,。目前產(chǎn)品涵蓋材料科學(xué),、微納米技術(shù)、表面測(cè)量及表征,、半導(dǎo)體,、光伏和生命科學(xué)等領(lǐng)域。

 

可控環(huán)境型微納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng),超納米壓痕儀,納米壓痕儀,動(dòng)態(tài)超顯微硬度計(jì),超顯微硬度計(jì),納米硬度計(jì),納米劃痕儀,顯微劃痕儀,大載荷劃痕儀,納米摩擦儀,摩擦儀,摩擦試驗(yàn)機(jī),高溫摩擦試驗(yàn)機(jī),真空摩擦試驗(yàn)機(jī),膜厚儀,球磨儀,高精度臺(tái)階儀,三維微納米輪廓儀,原子力顯微鏡,,薄膜應(yīng)力測(cè)量?jī)x,全息顯微鏡,,激光測(cè)振儀,,激光干涉儀,激光測(cè)速儀,,光譜型橢偏儀,,掃描霍爾探針顯微鏡,精密d33測(cè)試儀,,薄膜d33測(cè)試儀,,高溫介電測(cè)量系統(tǒng),表面等離子體共振儀,,激光拉曼顯微鏡PCT測(cè)試儀,,碳納米制備系統(tǒng),原子層沉積系統(tǒng),,電子束蒸發(fā)系統(tǒng)熱蒸發(fā)系統(tǒng)超高真空蒸發(fā)系統(tǒng)磁控濺射系統(tǒng)分子束外延系統(tǒng) MBE有機(jī)分子束沉積 OMBD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng) PECVD電子回旋共振等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 ECR-PECVD低能離子減薄儀,,離子減薄儀,拋光機(jī),,精密切片機(jī),,微熱臺(tái)

1.蒸鍍?cè)碈ell&電源:
金屬沉積蒸鍍Cell 
    --zui大溫度: < 1800℃ 
    --坩堝容量和材料: up to 200 ccAl2O3, BN, PBN, etc 
    --包括超高真空shutterCooling shroud
電源: 
    --直流電源:20A, 100V 
    --溫度控制:PID control

2.等離子體Cell&電源:
射頻等離子體Cell
    •坩堝材料:Alumina(Al2O3)
電源:300W射頻發(fā)生器with matching box
質(zhì)量流量控制器:N2 or O2

3.薄膜沉積控制:
•膜厚測(cè)量:石英晶體振蕩器
•束流量:微離子規(guī)

4.RHHED槍&電源:
•配電功率: max. 30 kV at 1mA
•燈絲功率:max. 3A

5.真空室:
•圓柱形腔體
    •直徑: OD 355 ~1,000 mm (Substrate : up to OD600mm)
    •高度: 700 ~1,000 mm 
真空泵系統(tǒng)及測(cè)量
    •低真空:干泵和Convectron真空規(guī) 
    •超高真空:兩級(jí)渦輪分子泵,低溫泵和離子規(guī)

6.系統(tǒng)控制:PLC, 觸摸屏計(jì)算機(jī)控制

 

主要特點(diǎn)

 

擴(kuò)展功能:
•溫度控制器:基底加熱
•LN2 or CW 冷卻系統(tǒng)
•超高真空離子泵
•反射計(jì):原位光學(xué)厚度測(cè)控
•帶自動(dòng)樣品遞送裝置的Loadlock樣品加載系統(tǒng)

 
儀器介紹  

 

專(zhuān)業(yè)的沉積設(shè)備制造商,,為各個(gè)領(lǐng)域的客戶(hù)提供完善的薄膜沉積解決方案:電子束蒸發(fā)系統(tǒng),、熱蒸發(fā)系統(tǒng)、超高真空蒸發(fā)系統(tǒng),、分子束外延MBE,、有機(jī)分子束沉積OMBD、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)PECVD/ICP Etcher,、電子回旋共振等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積,、離子泵等;

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