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Wafer溫度實時檢測裝置

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 巨力科技有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2017/7/21 11:14:48
  • 訪問次數(shù) 1009

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巨力科技有限公司專門經(jīng)銷歐美,、日本等國家制造的*科學(xué)儀器,,為客戶提供完備的售前咨詢和售后服務(wù)、技術(shù)支持,。目前產(chǎn)品涵蓋材料科學(xué),、微納米技術(shù)、表面測量及表征,、半導(dǎo)體、光伏和生命科學(xué)等領(lǐng)域,。

 

可控環(huán)境型微納米力學(xué)測試系統(tǒng),超納米壓痕儀,納米壓痕儀,動態(tài)超顯微硬度計,超顯微硬度計,納米硬度計,納米劃痕儀,顯微劃痕儀,大載荷劃痕儀,納米摩擦儀,摩擦儀,摩擦試驗機,高溫摩擦試驗機,真空摩擦試驗機,膜厚儀,球磨儀,高精度臺階儀,三維微納米輪廓儀,原子力顯微鏡,,薄膜應(yīng)力測量儀,全息顯微鏡,,激光測振儀,,激光干涉儀,激光測速儀,,光譜型橢偏儀,,掃描霍爾探針顯微鏡,精密d33測試儀,,薄膜d33測試儀,,高溫介電測量系統(tǒng),表面等離子體共振儀,,激光拉曼顯微鏡PCT測試儀,,碳納米制備系統(tǒng),原子層沉積系統(tǒng),,電子束蒸發(fā)系統(tǒng)熱蒸發(fā)系統(tǒng)超高真空蒸發(fā)系統(tǒng)磁控濺射系統(tǒng)分子束外延系統(tǒng) MBE有機分子束沉積 OMBD等離子增強化學(xué)氣相淀積系統(tǒng) PECVD電子回旋共振等離子體增強化學(xué)氣相沉積 ECR-PECVD低能離子減薄儀,,離子減薄儀,,拋光機,精密切片機,,微熱臺

技術(shù)參數(shù)

 

zui大溫度范圍:室溫~1300攝氏度,;

溫度重復(fù)性:0.2攝氏度;

溫度分辨率:0.1攝氏度,;

穩(wěn)定性:+/-0.2攝氏度,;

 

主要特點

 

*實時、非接觸,、非入侵,、直接的Wafer溫度精確檢測;

*Wafer表面2D溫度Mapping,;

*zui真實的Wafer表面或薄膜溫度檢測,;

*沉積速率分析;

*測量激光波長范圍可選(例如:可見光波段,、近紅外波段等)

*避免了發(fā)射率變化對測量的影響,;

*無需沉積設(shè)備Viewport特殊涂層;

 
儀器介紹  

 

*的半導(dǎo)體溫度測量裝置,,對Wafer(及薄膜)表面溫度實時,、非接觸、非入侵,、zui直接的檢測,;采用溫度和半導(dǎo)體材料對光的吸收邊沿(頻帶能量)相關(guān)性原理,即材料的本征特性,,使得測量結(jié)果更為準(zhǔn)確,;可裝載到MBE、MOCVD,、濺射,、蒸發(fā)系統(tǒng)等和熱處理、退火設(shè)備上,,進(jìn)行實時溫度檢測,。


 



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