
Model 212 紫外掩膜曝光機(jī)
Model212 大面積掩模對準(zhǔn)器是一款高性價比的高性能掩模對準(zhǔn)器,其采用了 OAI 經(jīng)行業(yè)驗證的組件,,正是這些組件使 OAI 在光刻設(shè)備行業(yè)處于地位,。212 型是一款臺式掩模對準(zhǔn)器,所需潔凈室空間極小,,為大面積基板,、液晶顯示器(LCD)、薄膜晶體管,、面板級封裝和有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)的研發(fā)提供了經(jīng)濟(jì)實惠的選擇。借助 OAI 創(chuàng)新的真空吸盤調(diào)平系統(tǒng),,大面積基板(最大可達(dá) 12 英寸 ×12 英寸或 300 毫米 ×300 毫米)能快速,、輕柔地實現(xiàn)調(diào)平,確保在曝光過程中光刻掩模的精準(zhǔn)對準(zhǔn)和均勻接觸,。該系統(tǒng)可實現(xiàn) 1 微米的分辨率和對準(zhǔn)精度,。對準(zhǔn)模塊配備了掩模插入組和快換式晶圓吸盤,無需專用工具即可便捷使用多種基板和掩模,。212 型大面積掩模對準(zhǔn)器配備了經(jīng)過驗證的 OAI 紫外線光源,,使用功率范圍為 200 至 2000 瓦的燈,可提供近紫外、中紫外或深紫外的準(zhǔn)直紫外光,。雙傳感器光學(xué)反饋回路與恒定強(qiáng)度控制器相連,,將曝光強(qiáng)度控制在所需強(qiáng)度的 ±2% 以內(nèi)。
可處理的基板尺寸最大為 12 英寸 ×12 英寸或 300 毫米 ×300 毫米
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特點
占地面積小
價格實惠
精密對準(zhǔn)
紫外光具有高準(zhǔn)直性和均勻性
可輕松適配多種大面積基板和掩模

