SuperViewW國產白光干涉三維形貌儀可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。SuperViewW具有測量精度高,、操作便捷、功能齊全,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

產品特點

1,、白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

2,、針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度,、大掃描范圍的需求，中圖儀器SuperView W1的復合型EPSI重建算法,，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小,、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,，只需要確定起點和終點,，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域,，不見一絲重疊縫隙,。

應用領域圖片

對各種產品、部件和材料表面的粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

產品功能

1)樣件測量能力：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙,、鏡面到全透明或黑色材質等所有類型樣件表面的測量,；

2)單區(qū)域自動測量：單片平面樣品或批量樣品切換測量點位時，可一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索,、掃描等功能,；

3)多區(qū)域自動測量：可設置方形或圓形的陣列形式的多區(qū)域測量點位，一鍵實現(xiàn)自動條紋搜索,、掃描等功能,；

4)自動拼接測量；支持方形,、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導航功能,，可自定義測量區(qū)域，支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量,；

5)編程測量功能：支持測量和分析同界面操作的軟件模塊,，可預先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟，結合自動單測量功能,，實現(xiàn)一鍵測量,；

6)數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調整、去噪,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

7)數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結構分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,。

8)批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板，針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析,；

9)數(shù)據(jù)報表導出：支持word,、excel、pdf格式的數(shù)據(jù)報表導出功能,，支持圖像,、數(shù)值結果的導出,；

10)故障排查功能：配置診斷模塊，可保存掃描過程中的干涉條紋圖像,；

11)便捷操作功能：設備配備操縱桿,，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調節(jié)、光源亮度調節(jié),、急停等,；

12)環(huán)境噪聲評價：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評價功能，定量檢測出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率,，為設備調試和故障排查提供定量依據(jù),；

13)氣浮隔振功能：采用氣浮式隔振底座，可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼?，確保測量數(shù)據(jù)的高精度,；

14)光源安全功能：光源設置無人值守下的自動熄燈功能，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命；

15)鏡頭安全功能：雙重防撞保護,，軟件ZSTOP防撞保護,，設置后即以當前位置為位移下限位，不再下移且伴有報警聲,；設備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進行了彈簧結構設計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,，進入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸,，消除人為操作的安全風險,。

自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro

Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺，集成了圖像掃描,、3D分析,、影像測量、自動化測量等四個大的功能模塊,，能夠適配中圖W系列,、VT系列、WT系列所有3D儀器機型,，可自主識別機型種類,，二合一機型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動切換掃描模式。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領域的成功經(jīng)驗,，重構了顯微影像測量功能,，可針對微觀平面輪廓尺寸的點,、線間的距離、角度,、半徑等參數(shù)進行直接測量和自動匹配測量,。

自動化mark點識別坐標定位自動化功能

Mark點影像識別自動坐標位置校正，多區(qū)域坐標點自動定位測量與分析,，可組合式完成粗糙度,、輪廓尺寸的批量自動化測量。

自動拼接功能

SuperViewW國產白光干涉三維形貌儀支持方形,、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導航功能,，可自定義測量區(qū)域,，支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量。

部分技術指標

懇請注意：因市場發(fā)展和產品開發(fā)的需要,，本產品資料中有關內容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,，恕不另行通知，不便之處敬請諒解,。

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