HX12N系列 半自動探針臺
- 公司名稱 上??滤纯萍加邢薰?/a>
- 品牌 上??滤?/b>
- 型號 HX12N系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/6/17 14:19:11
- 訪問次數(shù) 16
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室溫探針臺,、低溫探針臺、全自動探針臺,、半自動探針臺,、科研超導磁體系統(tǒng)、液氦&液氮低溫恒溫器,、閉循環(huán)低溫恒溫器,、霍爾效應測試系統(tǒng)、三維磁場測試平臺,、溫控儀等產(chǎn)品,。
HX12N系列半自動探針臺配置高精度的直線電機滑臺模組,行程滿足8英寸,、12英寸芯片的測試,。定位精度高,反應速度快以及使用壽命長等優(yōu)勢,,滑臺同時配備了高精度的光柵反饋系統(tǒng),,保證了運行精度的可靠性,并且該模組為本公司自研產(chǎn)品,,保證了模組的成品質(zhì)量和生產(chǎn)周期,,為探針臺的測試提供了又快又準的硬件保障。
軟件功能介紹
• 可測試圓片,,測試范圍可選,,支持隔行抽測和環(huán)形測試,MAP圖可以編輯測試,;
• 支持壞點重測,;
• 具備離線打點、同步打點功能;
• 具備接觸緩沖功能,,針痕穩(wěn)定,;
• 運行精度補償功能,保證測試的穩(wěn)定性,;
• 測試良率,、總數(shù)、速度顯示,;
• CCD圖像自動對準和定位;
• 設備具備一定的抗干擾能力,,支持高低溫測試,,運行穩(wěn)定;
• 多BIN分類測試,,測試數(shù)據(jù)可以存儲,,可以導出,兼容后道設備格式使用,,具有數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析功能,;
• 操作員,,管理員,系統(tǒng)廠家權(quán)限管理功能
參數(shù)和指標:
性能名稱 | 技術(shù)指標 | |
可測片徑 | 8″,、12″ | |
XY工作臺 | 結(jié)構(gòu) | 直線電機 |
行程 | 230mm × 220mm,分辨率:1μm | |
速度 | >200mm/s | |
定位精度 | ≤±2μm | |
承片臺 | Z向行程 | 10mm,,分辨率:1μm |
Z臺精度 | ≤±1μm | |
Z向分辨率 | ≤±0.5μm | |
θ向調(diào)節(jié)范圍 | ±25° | |
θ向分辨率 | 0.006° | |
顯微鏡/視頻顯示系統(tǒng) | 雙目體視顯微鏡/可選配三目顯微鏡及CCD實時視頻顯示裝置 | |
控溫范圍 | -45℃~150 ℃ | |
溫度設置分辨率 | 0.1 ℃ | |
溫度均勻性 | -45°C 至 +150°C < ±1 °C,,>150 °C < ±1 % |