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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>集成電路測試與分選設備>探針臺>HX12N系列 半自動探針臺


上??滤纯萍加邢薰荆↙INKPHYSICS)于2008年成立,始于代理國外的知名品牌,,是國內(nèi)知名的低溫設備制造商,,是集研發(fā)、生產(chǎn),、銷售于一體的高新技術(shù)企業(yè),,上海市“專精特新”企業(yè)、上海市寶山區(qū)企業(yè)技術(shù)中心,、擁有ISO9001質(zhì)量管理系統(tǒng)認證證書,、2023年入選寶山區(qū)工業(yè)新升規(guī)快速成長企業(yè),主要為高校,、科研院所,、制造業(yè)研發(fā)中心及系統(tǒng)集成企業(yè)提供先進的半導體測試系統(tǒng)及科研儀器設備,,多年致力深耕低溫磁場及探針臺技術(shù)。
  
主營產(chǎn)品:公司主營產(chǎn)品有室溫探針臺,、低溫探針臺,、全自動探針臺、半自動探針臺,、科研超導磁體系統(tǒng),、液氦&液氮低溫恒溫器、閉循環(huán)低溫恒溫器,、霍爾效應測試系統(tǒng),、三維磁場測試平臺、溫控儀等產(chǎn)品,。

室溫探針臺,、低溫探針臺、全自動探針臺,、半自動探針臺,、科研超導磁體系統(tǒng)、液氦&液氮低溫恒溫器,、閉循環(huán)低溫恒溫器,、霍爾效應測試系統(tǒng)、三維磁場測試平臺,、溫控儀等產(chǎn)品,。

HX12N系列半自動探針臺配置高精度的直線電機滑臺模組,行程滿足8英寸,、12英寸芯片的測試,。定位精度高,反應速度快以及使用壽命長等優(yōu)勢,,滑臺同時配備了高精度的光柵反饋系統(tǒng),,保證了運行精度的可靠性,并且該模組為本公司自研產(chǎn)品,,保證了模組的成品質(zhì)量和生產(chǎn)周期,,為探針臺的測試提供了又快又準的硬件保障。


軟件功能介紹
• 可測試圓片,,測試范圍可選,,支持隔行抽測和環(huán)形測試,MAP圖可以編輯測試,;
• 支持壞點重測,;
• 具備離線打點、同步打點功能;
• 具備接觸緩沖功能,,針痕穩(wěn)定,;
• 運行精度補償功能,保證測試的穩(wěn)定性,;
• 測試良率,、總數(shù)、速度顯示,;
• CCD圖像自動對準和定位;
• 設備具備一定的抗干擾能力,,支持高低溫測試,,運行穩(wěn)定;
• 多BIN分類測試,,測試數(shù)據(jù)可以存儲,,可以導出,兼容后道設備格式使用,,具有數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析功能,;
• 操作員,,管理員,系統(tǒng)廠家權(quán)限管理功能


參數(shù)和指標:

性能名稱
技術(shù)指標
可測片徑
8″,、12″
XY工作臺
結(jié)構(gòu)
直線電機
行程
230mm × 220mm,分辨率:1μm
速度
>200mm/s
定位精度
≤±2μm
承片臺
Z向行程
10mm,,分辨率:1μm
Z臺精度
≤±1μm
Z向分辨率
≤±0.5μm
θ向調(diào)節(jié)范圍
±25°
θ向分辨率
0.006°
顯微鏡/視頻顯示系統(tǒng)
雙目體視顯微鏡/可選配三目顯微鏡及CCD實時視頻顯示裝置
控溫范圍
-45℃~150 ℃
溫度設置分辨率
0.1 ℃
溫度均勻性
-45°C 至 +150°C < ±1 °C,,>150 °C < ±1 %






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