HX50N系列 半自動探針臺
具體成交價以合同協(xié)議為準
產(chǎn)品標簽
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室溫探針臺、低溫探針臺,、全自動探針臺,、半自動探針臺、科研超導(dǎo)磁體系統(tǒng),、液氦&液氮低溫恒溫器,、閉循環(huán)低溫恒溫器、霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng),、三維磁場測試平臺,、溫控儀等產(chǎn)品。
HX50N系列半自動探針臺適用于4英寸,、5英寸晶圓,，包含二極管，三極管,，MOSFET管,、垂直結(jié)構(gòu)芯片之測量，特別適合于翹曲晶圓和高壓芯片測試,，可選配多針測試功能,，可實現(xiàn)多顆同時測量之要求，提高機器的測試產(chǎn)能,。
軟件功能介紹：
1.可測試圓片,，測試范圍可選，支持隔行抽測和環(huán)形測試,，MAP圖可以編輯測試,；
2.支持壞點重測；
3.具備離線打點,、同步打點功能,；
4.具備接觸緩沖功能，針痕穩(wěn)定,；
5.運行精度補償功能,，保證測試的穩(wěn)定性；
6.測試良率,、總數(shù),、速度顯示；
7.CCD圖像自動對準定位,；
8.設(shè)備具備一定的抗干擾能力,，支持高低溫測試，運行穩(wěn)定；
9.多BIN分類測試,，測試數(shù)據(jù)可以存儲,，可以導(dǎo)出,，兼容后道設(shè)備格式使用,，具有數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析功能；
10.操作員,，管理員,，系統(tǒng)廠家權(quán)限管理功能；
參數(shù)和指標：
| 性能名稱 | 技術(shù)指標 |
| 可測試晶圓尺寸 | 4寸,、5寸 |
| 工作臺行程 | 140mm×150mm |
| 控制精度 | ≤0.001mm |
| 全程精度 | ≤±0.05mm/140mm |
| Z向行程 | ≤5mm（可調(diào)） |
| θ向可調(diào)范圍 | ±15° |
| 支持高壓測試 | ≥2000V |
| 真空度 | ＞-0.08MP |
| 轉(zhuǎn)載晶圓數(shù)量 | 25片 |
| 電源 | AC220V 50Hz,1KW |
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