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VT6100 材料共聚焦3D成像顯微鏡

參考價 950000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 品牌 CHOTEST/中圖儀器
  • 型號 VT6100
  • 產(chǎn)地 深圳市南山區(qū)西麗街道學苑大道1001號南山智園B1棟5樓
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/5/26 11:14:35
  • 訪問次數(shù) 70

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深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發(fā),、生產(chǎn)和銷售,。


中圖儀器堅持以技術創(chuàng)新為發(fā)展基礎,擁有一支集光,、機,、電、信息技術于一體的技術團隊,,歷經(jīng)20年的技術積累和發(fā)展實踐,,研發(fā)出了基礎計量儀器、常規(guī)尺寸光學測量儀器,、微觀尺寸光學測量儀器,、大尺寸光學測量儀器,、常規(guī)尺寸接觸式測量儀器,、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業(yè)應用檢測設備等全尺寸鏈精密儀器及設備,,能為客戶提供從納米到百米的精密測量解決方案,。





三坐標測量機,影像儀,,閃測儀,,一鍵式測量儀,激光干涉儀,,白光干涉儀,,光學輪廓儀,激光跟蹤儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應用領域 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

VT6000系列材料共聚焦3D成像顯微鏡以共聚焦技術為原理結合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),,從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

材料共聚焦3D成像顯微鏡


VT6000系列材料共聚焦3D成像顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量,??蓽y各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。


產(chǎn)品功能

1)3D測量功能:設備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,;

2)影像測量功能:設備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能,可進行長度,、角度,、半徑等尺寸測量;

3)自動拼接功能:設備具備自動拼接功能,,能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,;

4)數(shù)據(jù)處理功能:設備具備調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析工具功能:設備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結構分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,;

6)批量分析功能:設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,;

7)便捷操作功能:設備配備操縱桿,,支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等,;

8)光源安全功能:光源設置無人值守下的自動熄燈功能,當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,,防止光源高亮過熱損壞,,并有效延長光源使用壽命;

9)鏡頭安全功能:設備配備壓力傳感器,,并在鏡頭處進行了彈簧結構設計,,確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,進入急停狀態(tài),,大幅減小碰撞沖擊力,,有效保護鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風險,。


性能特點

1,、高精度,、高重復性

(1)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎,結合高穩(wěn)定性結構設計和3D重建算法,,共同組成測量系統(tǒng),,保證儀器的高測量精度。

(2)儀器的隔震設計能夠消減底面振動噪聲,,儀器在部分環(huán)境中穩(wěn)定可靠,,具有良好的測量重復性。

2,、一體化操作的測量分析軟件

(1)測量與分析同界面操作,,無需切換,測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,,實現(xiàn)了快速批量測量的功能,。

(2)可視化窗口,便于用戶時事觀察掃描過程,。

(3)結合自定義分析模板的自動化測量功能,,可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程。

(4)幾何分析,、粗糙度分析,、結構分析、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全,。

(5)一鍵分析、多文件分析,,自由組合分析項保存為分析模板,,批量樣品一鍵分析,,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能,。

(6)可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D\3D參數(shù)。

3,、精密操縱手柄

集成X\Y\Z三個方向調(diào)整功能的操縱手柄,,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作,。

4,、雙重防撞保護措施

除軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,,當鏡頭觸碰到樣品表面時,,儀器自動進入緊急停止狀態(tài),保護儀器,,降低認為操作風險,。


不同應用場景下的3D形貌

VT6000白光干涉共聚焦測量顯微鏡主要應用于半導體,、光學膜材、顯示行業(yè),、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,,其次是對表面粗糙度、面積,、體積等參數(shù)的檢測中,。

3D形貌圖片:

影像測量功能界面

材料共聚焦3D成像顯微鏡


應用場景

半導體制造:晶圓表面缺陷檢測、V型槽深度測量,、激光孔形貌分析,。

3C電子:手機玻璃屏平整度、微透鏡陣列曲率,、PCB基材粗糙度檢測,。

汽車工業(yè):精密零部件幾何輪廓、金剛石鉆頭磨損評估,。

科研與新材料:超光滑表面粗糙度,、微納結構體積計算、太陽能柵線形貌建模,。


部分技術指標

型號VT6100


行程范圍

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量50kg
測量原理共聚焦光學系統(tǒng)
顯微物鏡10×;20×;50×;100×
視場范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量
寬度測量
XY位移平臺負載10kg
控制方式電動
Z0軸掃描范圍10mm
物鏡塔臺5孔電動
光源白光LED

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,,本產(chǎn)品資料中有關內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,,不便之處敬請諒解,。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。



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