中圖儀器VT6000系列3D共聚焦顯微系統(tǒng)用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量?？蓽y各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

性能特點

1,、高精度,、高重復性

（1）以轉盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎，結合高穩(wěn)定性結構設計和3D重建算法,，共同組成測量系統(tǒng),，保證儀器的高測量精度。

（2）儀器的隔震設計能夠消減底面振動噪聲,，儀器在部分環(huán)境中穩(wěn)定可靠,，具有良好的測量重復性。

2,、一體化操作的測量分析軟件

（1）測量與分析同界面操作,，無需切換，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,，實現(xiàn)了快速批量測量的功能,。

（2）可視化窗口，便于用戶時事觀察掃描過程,。

（3）結合自定義分析模板的自動化測量功能,，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程。

（4）幾何分析,、粗糙度分析,、結構分析、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全,。

（5）一鍵分析、多文件分析,，自由組合分析項保存為分析模板,，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能,。

（6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D\3D參數(shù),。

3、精密操縱手柄

集成X\Y\Z三個方向調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦等測量前工作。

4,、雙重防撞保護措施

除軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,，另在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態(tài),，保護儀器,，降低認為操作風險。

不同應用場景下的3D形貌

VT6000系列3D共聚焦顯微系統(tǒng)主要應用于半導體,、光學膜材,、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,，其次是對表面粗糙度,、面積、體積等參數(shù)的檢測中,。

3D形貌圖片：

影像測量功能界面

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能：設備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

2)影像測量功能：設備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進行長度,、角度,、半徑等尺寸測量；

3)自動拼接功能：設備具備自動拼接功能,，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,；

4)數(shù)據(jù)處理功能：設備具備調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5)分析工具功能：設備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結構分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6)批量分析功能：設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

7)便捷操作功能：設備配備操縱桿,，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等,；

8)光源安全功能：光源設置無人值守下的自動熄燈功能，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命；

9)鏡頭安全功能：設備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進行了彈簧結構設計,，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,，進入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風險,。

部分技術指標