VT6000共聚焦成像檢測系統(tǒng)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng),。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,，可分析粗糙度、凹坑瑕疵,、溝槽等參數(shù),。

VT6000共聚焦成像檢測系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。可測各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能：設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

2)影像測量功能：設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能,，可進行長度、角度,、半徑等尺寸測量,；

3)自動拼接功能：設(shè)備具備自動拼接功能，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,；

4)數(shù)據(jù)處理功能：設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)分析工具功能：設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6)批量分析功能：設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；

7)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿,，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等,；

8)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能，當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命；

9)鏡頭安全功能：設(shè)備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計,，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮，進入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護鏡頭和掃描軸,，消除人為操作的安全風險。

功能特點

1,、測量模式多樣

單區(qū)域,、多區(qū)域、拼接,、自動測量等多種測量模式可選擇,，適應(yīng)多種現(xiàn)場應(yīng)用環(huán)境；

2,、雙重防撞保護功能

Z軸上裝有防撞機械電子傳感器,、軟件ZSTOP防撞保護功能，雙重保護,；

3,、分析功能豐富

3D：表面粗糙度、平整度,、孔洞體積,、幾何曲面、紋理方向,、PSD等分析,；

2D：剖面粗糙度、幾何輪廓測量,、頻率,、孔洞體積、Abbott參數(shù)等分析,。

不同應(yīng)用場景下的3D形貌

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光學(xué)膜材、顯示行業(yè),、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,，其次是對表面粗糙度、面積,、體積等參數(shù)的檢測中,。

3D形貌圖片：

影像測量功能界面

部分技術(shù)指標