中圖儀器VT6000共聚焦超高分辨率表面分析顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì),，橫向分辨率更高,。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度,、凹坑瑕疵,、溝槽等參數(shù)。

VT6000共聚焦超高分辨率表面分析顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,。

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能：設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

2)影像測量功能：設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能,，可進(jìn)行長度,、角度、半徑等尺寸測量,；

3)自動拼接功能：設(shè)備具備自動拼接功能,，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；

4)數(shù)據(jù)處理功能：設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5)分析工具功能：設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6)批量分析功能：設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

7)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿,，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等,；

8)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能，當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過熱損壞,，并有效延長光源使用壽命；

9)鏡頭安全功能：設(shè)備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計,，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮，進(jìn)入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險,。

性能特點

1,、高精度、高重復(fù)性

（1）以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法,，共同組成測量系統(tǒng),，保證儀器的高測量精度,。

（2）儀器的隔震設(shè)計能夠消減底面振動噪聲，儀器在部分環(huán)境中穩(wěn)定可靠,，具有良好的測量重復(fù)性,。

2、一體化操作的測量分析軟件

（1）測量與分析同界面操作,，無需切換,，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，實現(xiàn)了快速批量測量的功能。

（2）可視化窗口,，便于用戶時事觀察掃描過程,。

（3）結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程,。

（4）幾何分析,、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全。

（5）一鍵分析,、多文件分析,，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析,，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能,。

（6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D\3D參數(shù)。

3,、精密操縱手柄

集成X\Y\Z三個方向調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作,。

4,、雙重防撞保護(hù)措施

除軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時,，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，保護(hù)儀器,，降低認(rèn)為操作風(fēng)險,。

不同應(yīng)用場景下的3D形貌

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材,、顯示行業(yè),、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度,、面積,、體積等參數(shù)的檢測中。

3D形貌圖片：

影像測量功能界面

部分技術(shù)指標(biāo)