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徠卡顯微系統(tǒng)(上海)貿(mào)易有限公司

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學(xué)儀器及設(shè)備>光學(xué)顯微鏡>工具顯微鏡/測量顯微鏡>VT6100 共聚焦超高分辨率表面分析顯微鏡

VT6100 共聚焦超高分辨率表面分析顯微鏡

參考價 950000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 品牌 CHOTEST/中圖儀器
  • 型號 VT6100
  • 產(chǎn)地 學(xué)苑大道1001號南山智園B1棟2樓、5樓
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/11/20 13:46:08
  • 訪問次數(shù) 428

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深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā),、生產(chǎn)和銷售,。


中圖儀器堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),擁有一支集光,、機(jī),、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團(tuán)隊,,歷經(jīng)20年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐,,研發(fā)出了基礎(chǔ)計量儀器、常規(guī)尺寸光學(xué)測量儀器,、微觀尺寸光學(xué)測量儀器,、大尺寸光學(xué)測量儀器、常規(guī)尺寸接觸式測量儀器,、微觀尺寸接觸式測量儀器,、行業(yè)應(yīng)用檢測設(shè)備等全尺寸鏈精密儀器及設(shè)備,,能為客戶提供從納米到百米的精密測量解決方案。





三坐標(biāo)測量機(jī),,影像儀,,閃測儀,一鍵式測量儀,,激光干涉儀,,白光干涉儀,光學(xué)輪廓儀,,激光跟蹤儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

中圖儀器VT6000共聚焦超高分辨率表面分析顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),,結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法,所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì),,橫向分辨率更高,。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,可分析粗糙度,、凹坑瑕疵,、溝槽等參數(shù)。

共聚焦超高分辨率表面分析顯微鏡

VT6000共聚焦超高分辨率表面分析顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,??蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,,從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,。


產(chǎn)品功能

1)3D測量功能:設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;

2)影像測量功能:設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能,,可進(jìn)行長度,、角度、半徑等尺寸測量,;

3)自動拼接功能:設(shè)備具備自動拼接功能,,能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量;

4)數(shù)據(jù)處理功能:設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析工具功能:設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,;

6)批量分析功能:設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,;

7)便捷操作功能:設(shè)備配備操縱桿,,支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等,;

8)光源安全功能:光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能,當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,,防止光源高亮過熱損壞,,并有效延長光源使用壽命;

9)鏡頭安全功能:設(shè)備配備壓力傳感器,,并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計,,確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮,進(jìn)入急停狀態(tài),,大幅減小碰撞沖擊力,,有效保護(hù)鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風(fēng)險,。


性能特點

1,、高精度、高重復(fù)性

(1)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),,結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法,,共同組成測量系統(tǒng),,保證儀器的高測量精度,。

(2)儀器的隔震設(shè)計能夠消減底面振動噪聲,儀器在部分環(huán)境中穩(wěn)定可靠,,具有良好的測量重復(fù)性,。

2、一體化操作的測量分析軟件

(1)測量與分析同界面操作,,無需切換,,測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,實現(xiàn)了快速批量測量的功能。

(2)可視化窗口,,便于用戶時事觀察掃描過程,。

(3)結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程,。

(4)幾何分析,、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全。

(5)一鍵分析,、多文件分析,,自由組合分析項保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能,。

(6)可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D\3D參數(shù)。

3,、精密操縱手柄

集成X\Y\Z三個方向調(diào)整功能的操縱手柄,,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作,。

4,、雙重防撞保護(hù)措施

除軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器,,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時,,儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),保護(hù)儀器,,降低認(rèn)為操作風(fēng)險,。

共聚焦超高分辨率表面分析顯微鏡

不同應(yīng)用場景下的3D形貌

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材,、顯示行業(yè),、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,其次是對表面粗糙度,、面積,、體積等參數(shù)的檢測中。

3D形貌圖片:

影像測量功能界面

共聚焦超高分辨率表面分析顯微鏡


部分技術(shù)指標(biāo)

型號VT6100


行程范圍

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量50kg
測量原理共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
顯微物鏡10×;20×;50×;100×
視場范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量
寬度測量
XY位移平臺負(fù)載10kg
控制方式電動
Z0軸掃描范圍10mm
物鏡塔臺5孔電動
光源白光LED

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,,恕不另行通知,不便之處敬請諒解,。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。



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